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基于IC装备中的静电卡盘静电力仿真及实验研究
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基于IC装备中的静电卡盘静电力仿真及实验研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-10页
第1章 绪论
第10-29页
1.1 课题背景及意义
第10-12页
1.1.1 课题背景
第10-11页
1.1.2 研究意义
第11-12页
1.2 静电卡盘设备概述
第12-16页
1.2.1 静电卡盘简介
第12-14页
1.2.2 静电卡盘分类
第14-16页
1.3 国内外研究现状
第16-27页
1.3.1 国内研究现状
第16-22页
1.3.2 国外研究现状
第22-27页
1.4 问题的提出
第27页
1.5 论文的主要研究内容
第27-29页
第2章 静电卡盘建模及静电力仿真
第29-50页
2.1 静电力仿真软件的选择
第29-30页
2.2 静电力仿真模型的建立
第30-34页
2.2.1 静电力理论模型
第30-32页
2.2.2 几何模型的建立
第32-33页
2.2.3 模型网格划分
第33-34页
2.3 模型求解
第34-35页
2.3.1 边界条件的设置
第34-35页
2.3.2 基本假设
第35页
2.4 静电力仿真结果与文献对比
第35-38页
2.4.1 仿真结果
第35-37页
2.4.2 仿真结果与文献对比
第37-38页
2.5 静电力影响因素分析
第38-48页
2.5.1 仿真模型的建立
第38-40页
2.5.2 单一因素的改变对静电力的影响分析
第40-44页
2.5.3 多参数综合作用对静电力的影响分析
第44-48页
2.6 本章小结
第48-50页
第3章 静电力测量系统设计与研制
第50-65页
3.1 静电卡盘静电力测量技术简介
第50-55页
3.2 静电力测量环境分析及总体方案设计
第55-57页
3.2.1 测量环境分析
第55-57页
3.2.2 测量系统总体结构设计
第57页
3.3 测量装置各部分结构设计
第57-64页
3.3.1 动力机构设计
第58-60页
3.3.2 传感测量机构设计
第60-61页
3.3.3 传动连接机构设计
第61-64页
3.4 本章小结
第64-65页
第4章 静电卡盘系统设计与研制
第65-73页
4.1 静电卡盘总体结构设计
第65页
4.2 静电卡盘各部分结构设计
第65-70页
4.2.1 绝缘层的设计与研制
第65-66页
4.2.2 电极设计与研制
第66-67页
4.2.3 陶瓷基板设计与研制
第67页
4.2.4 表面介电层选材及加工
第67-69页
4.2.5 晶片的选型
第69页
4.2.6 电源的选型
第69-70页
4.3 静电卡盘的组装
第70-72页
4.4 本章小结
第72-73页
第5章 静电卡盘静电力实验研究
第73-84页
5.1 测量平台的搭建
第73-75页
5.2 实验流程
第75-76页
5.3 实验结果分析
第76-81页
5.4 实验数据与仿真结果对比
第81-83页
5.4.1 静电力仿真结果
第81-82页
5.4.2 静电力实验结果与仿真结果对比
第82-83页
5.5 本章小结
第83-84页
第6章 总结与展望
第84-86页
6.1 论文完成的主要工作
第84-85页
6.2 论文的创造性研究成果
第85页
6.3 后续工作展望
第85-86页
致谢
第86-87页
参考文献
第87-90页
个人简历、在学期间的研究成果
第90页
本篇论文共
90
页,
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。
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