教育论文网

基于IC装备中的静电卡盘静电力仿真及实验研究

硕士博士毕业论文站内搜索    
分类:教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文微电子学、集成电路(IC)论文一般性问题论文制造工艺论文
基于IC装备中的静电卡盘静电力仿真及实验研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 绪论第10-29页
  1.1 课题背景及意义第10-12页
    1.1.1 课题背景第10-11页
    1.1.2 研究意义第11-12页
  1.2 静电卡盘设备概述第12-16页
    1.2.1 静电卡盘简介第12-14页
    1.2.2 静电卡盘分类第14-16页
  1.3 国内外研究现状第16-27页
    1.3.1 国内研究现状第16-22页
    1.3.2 国外研究现状第22-27页
  1.4 问题的提出第27页
  1.5 论文的主要研究内容第27-29页
第2章 静电卡盘建模及静电力仿真第29-50页
  2.1 静电力仿真软件的选择第29-30页
  2.2 静电力仿真模型的建立第30-34页
    2.2.1 静电力理论模型第30-32页
    2.2.2 几何模型的建立第32-33页
    2.2.3 模型网格划分第33-34页
  2.3 模型求解第34-35页
    2.3.1 边界条件的设置第34-35页
    2.3.2 基本假设第35页
  2.4 静电力仿真结果与文献对比第35-38页
    2.4.1 仿真结果第35-37页
    2.4.2 仿真结果与文献对比第37-38页
  2.5 静电力影响因素分析第38-48页
    2.5.1 仿真模型的建立第38-40页
    2.5.2 单一因素的改变对静电力的影响分析第40-44页
    2.5.3 多参数综合作用对静电力的影响分析第44-48页
  2.6 本章小结第48-50页
第3章 静电力测量系统设计与研制第50-65页
  3.1 静电卡盘静电力测量技术简介第50-55页
  3.2 静电力测量环境分析及总体方案设计第55-57页
    3.2.1 测量环境分析第55-57页
    3.2.2 测量系统总体结构设计第57页
  3.3 测量装置各部分结构设计第57-64页
    3.3.1 动力机构设计第58-60页
    3.3.2 传感测量机构设计第60-61页
    3.3.3 传动连接机构设计第61-64页
  3.4 本章小结第64-65页
第4章 静电卡盘系统设计与研制第65-73页
  4.1 静电卡盘总体结构设计第65页
  4.2 静电卡盘各部分结构设计第65-70页
    4.2.1 绝缘层的设计与研制第65-66页
    4.2.2 电极设计与研制第66-67页
    4.2.3 陶瓷基板设计与研制第67页
    4.2.4 表面介电层选材及加工第67-69页
    4.2.5 晶片的选型第69页
    4.2.6 电源的选型第69-70页
  4.3 静电卡盘的组装第70-72页
  4.4 本章小结第72-73页
第5章 静电卡盘静电力实验研究第73-84页
  5.1 测量平台的搭建第73-75页
  5.2 实验流程第75-76页
  5.3 实验结果分析第76-81页
  5.4 实验数据与仿真结果对比第81-83页
    5.4.1 静电力仿真结果第81-82页
    5.4.2 静电力实验结果与仿真结果对比第82-83页
  5.5 本章小结第83-84页
第6章 总结与展望第84-86页
  6.1 论文完成的主要工作第84-85页
  6.2 论文的创造性研究成果第85页
  6.3 后续工作展望第85-86页
致谢第86-87页
参考文献第87-90页
个人简历、在学期间的研究成果第90页

本篇论文共90页,点击这进入下载页面
 
更多论文
基于IC装备中的静电卡盘静电力仿真
冷冻保存对富血小板纤维蛋白的影响
高显指LED倒装芯片封装关键工艺的研
TAT-NLS-Nkx6.2融合蛋白在大肠杆菌
射频系统级封装中互连结构的近场耦
转基因技术安全应用探究
集成电路生产中漏极饱和电流均匀性
壳聚糖基多孔膜材料的研究
“绑定中测试”测试流程对于测试成
UHRF1蛋白复合体中ncRNA的鉴定及功
基于广播扫描的低功耗测试压缩方法
LED光生物健康照明的研究
协同优化移位功耗和捕获功耗的测试
基于网格的蛋白质结构预测的并行实
基于UVM验证平台的回归测试集生成和
基于谱变换的伪随机测试方法研究
基于变换的测试数据压缩方法研究
马尔可夫链的扩散近似及其在化学主
FATS调控p53蛋白表达的分子机制
面向多扫描链的变换压缩方法的应用
COBRA模型上代谢调控约束的定量化研
片上网络容错技术研究
钙离子诱导的钙调蛋白动力学及热动
片上网络自适应VOQ路由器设计及头阻
NoC中交叉开关容错设计及拥塞控制研
生物学中有无自然定律
片上网络中链路容错技术和通信方法
表面等离子体微腔中的光学模式及其
基于CMOS忆阻器混合电路的卷积神经
四面体晶格自旋态查找方法的探究
基于液晶的太赫兹反射式移相器研究
直流磁控溅射法制备氧化锡薄膜阻变
基于传声器阵列的声源定位算法研究
基于界面自组装薄膜的电存储器件的
基于复指数完全重构滤波器组的信道
飞秒激光微构造硅的光电性质研究
基于FPGA的峰均比抑制滤波器的研究
基于变分贝叶斯学习的粒子滤波研究
离轴电子全息的数值模拟研究
CPU-GPU协同异构环境下卡尔曼滤波的
新型超支化共轭聚合物三阶非线性光
基于CDCTA的电流模式多环反馈滤波器
折—衍二元镜片的SPDT制造及检测技
基于CDTA的FPAA及其生成的高阶滤波
三维空间中不可压缩液晶流体方程适
基于序贯蒙特卡洛的概率假设密度滤
一种军用多通道带通滤波器的设计与
频率权重耦合周期振子网络的建模、
基于负载牵引系统的氮化镓功率放大
用于无线局域网的高效率集成E类功率
非方阵范数最优化问题的光滑化算法
超长距离分布式二阶拉曼放大器及其
一类含分布及非线性离散时滞Volter
片载自适应时钟振荡器的设计
两类变分问题的等价性分析
微纳结构增强的石墨烯太赫兹波调制
一种基于FPGA的新型存储划分算法研
一类地下水耦合模型反问题的伴随反
可逆电路的转换和在线检错方法研究
非凸函数的Broyden族算法研究
基于MIPI协议的显示接口研究与设计
径向基函数空间下最小二乘回归中正
宽带多重极化可重构天线研究
一种基于投影梯度的稀疏主成分分析
双极化窄波束大型场馆天线的设计
对于有自我保护现象的随机化回答数
全向圆极化天线的研究
宽带小型化基站天线和宽轴比波束圆
含跳跃项的Milstein方法的稳定性分
 
IC装备论文 静电力论文 数值仿真论文 实验验证论文
版权申明:目录由用户臭狗i**提供,www.51papers.com仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录请点击这里
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved