载入中...
集成电路生产中漏极饱和电流均匀性控制
硕士博士毕业论文站内搜索
全站论文库
硕士博士论文库
普通期刊论文库
分类:
教育论文网
→工业技术论文→
无线电电子学、电信技术论文
→
微电子学、集成电路(IC)论文
→
一般性问题论文
→
制造工艺论文
集成电路生产中漏极饱和电流均匀性控制
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-8页
第1章 绪论
第8-12页
1.1 课题研究背景及意义
第8-9页
1.2 漏极饱和电流均匀性控制方法研究
第9-10页
1.3 集成电路制造中漏极饱和电流的研究现状
第10页
1.4 本文结构
第10-12页
第2章 CMOS生产流程及电学参数测量
第12-25页
2.1 现代CMOS生产流程
第12-21页
2.1.1 CMOS晶体管前段工艺
第13-19页
2.1.2 CMOS晶体管后段工艺
第19-21页
2.2 工艺流程小节
第21页
2.3 电学参数测量体系和方法
第21-25页
2.3.1 电学测试工具简介
第21-22页
2.3.2 电学测试结构简介
第22-23页
2.3.3 漏极饱和电流的测量
第23-25页
第3章 集成电路生产中漏极饱和电流均匀性控制
第25-50页
3.1 漏极饱和电流物理意义及相关工艺
第25-28页
3.1.1 漏极饱和电流物理意义和相关工艺
第25-28页
3.2 多尺寸电性测试结构
第28-31页
3.2.1 软件简介
第28-29页
3.2.2 多尺寸电性测试结构
第29页
3.2.3 NMOS电性测试结构编写
第29-30页
3.2.4 多尺寸电性测试结构应用举例
第30-31页
3.3 漏极饱和电流对工艺波动敏感度确认
第31-44页
3.3.1 实验设计
第31-32页
3.3.2 工艺在线/离线数据收集
第32-35页
3.3.3 漏极饱和电流对工艺波动敏感度分析
第35-44页
3.4 工艺优化方案确定
第44-48页
3.4.1 工艺波动敏感度分析汇总:
第44-45页
3.4.2 片内工艺波动情况汇总
第45-46页
3.4.3 确定需要优化工艺步骤
第46页
3.4.4 制定工艺优化指标。
第46-48页
3.5 漏极饱和电流均匀性控制成果
第48-49页
3.6 本章小节
第49-50页
第4章 后续工作
第50-52页
4.1 漏极饱和电流片间、批间均匀性控制
第50页
4.2 对后续技术节点的指导意义
第50-51页
4.3 本章小节
第51-52页
结论
第52-54页
总结
第52页
不足与展望
第52-54页
参考文献
第54-59页
附录A
第59-66页
致谢
第66页
本篇论文共
66
页,
点击这进入下载页面
。
更多论文
集成电路生产中漏极饱和电流均匀性
壳聚糖基多孔膜材料的研究
“绑定中测试”测试流程对于测试成
UHRF1蛋白复合体中ncRNA的鉴定及功
基于广播扫描的低功耗测试压缩方法
LED光生物健康照明的研究
协同优化移位功耗和捕获功耗的测试
基于网格的蛋白质结构预测的并行实
基于UVM验证平台的回归测试集生成和
基于谱变换的伪随机测试方法研究
基于变换的测试数据压缩方法研究
马尔可夫链的扩散近似及其在化学主
FATS调控p53蛋白表达的分子机制
面向多扫描链的变换压缩方法的应用
COBRA模型上代谢调控约束的定量化研
片上网络容错技术研究
钙离子诱导的钙调蛋白动力学及热动
片上网络自适应VOQ路由器设计及头阻
NoC中交叉开关容错设计及拥塞控制研
生物学中有无自然定律
片上网络中链路容错技术和通信方法
表面等离子体微腔中的光学模式及其
基于CMOS忆阻器混合电路的卷积神经
四面体晶格自旋态查找方法的探究
基于液晶的太赫兹反射式移相器研究
直流磁控溅射法制备氧化锡薄膜阻变
基于传声器阵列的声源定位算法研究
基于界面自组装薄膜的电存储器件的
基于复指数完全重构滤波器组的信道
飞秒激光微构造硅的光电性质研究
基于FPGA的峰均比抑制滤波器的研究
基于变分贝叶斯学习的粒子滤波研究
离轴电子全息的数值模拟研究
CPU-GPU协同异构环境下卡尔曼滤波的
新型超支化共轭聚合物三阶非线性光
基于CDCTA的电流模式多环反馈滤波器
折—衍二元镜片的SPDT制造及检测技
基于CDTA的FPAA及其生成的高阶滤波
三维空间中不可压缩液晶流体方程适
基于序贯蒙特卡洛的概率假设密度滤
一种军用多通道带通滤波器的设计与
频率权重耦合周期振子网络的建模、
基于负载牵引系统的氮化镓功率放大
用于无线局域网的高效率集成E类功率
非方阵范数最优化问题的光滑化算法
超长距离分布式二阶拉曼放大器及其
一类含分布及非线性离散时滞Volter
饱和电流论文
工艺波动论文
版权申明
:目录由用户
tonyblo**
提供,
www.51papers.com
仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录
请点击这里
。
|
设为首页
||
加入收藏
||
站内搜索引擎
||
站点地图
||
在线购卡
|
版权所有
教育论文网
Copyright(C) All Rights Reserved