基于双波长干涉的微表面形貌测量的算法和实验研究

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基于双波长干涉的微表面形貌测量的算法和实验研究

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基于双波长干涉的微表面形貌测量的算法和实验研究

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第一章绪论	第7-17页
1.1 微表面形貌检测的意义	第7页
1.2 微表面形貌检测的方法	第7-9页
1.2.1 微表面三维形貌检测的非光学测量方法	第8页
1.2.2 微表面三维形貌检测的光学测量方法	第8-9页
1.3 干涉测量中的相位测量方法	第9-12页
1.3.1 时间相移法	第10页
1.3.2 空间相移法	第10-11页
1.3.3 空间载波相移法	第11-12页
1.3.4 Fourier变换法	第12页
1.4 微表面形貌检测发展的状况	第12-15页
1.4.1 国外形貌检测仪的发展状况	第12-14页
1.4.2 国内形貌检测仪的发展状况	第14-15页
1.5 本文的主要工作与各章的主要内容	第15-17页
第二章双波长干涉原理和算法研究	第17-35页
2.1 相移干涉理论	第17-21页
2.1.1 光学干涉基本理论	第17-18页
2.1.2 相移干涉法的基本原理	第18-20页
2.1.3 相位解包裹原理	第20-21页
2.2 常用的相位提取算法分类及原理介绍	第21-27页
2.2.1 定步长相位提取算法	第22-23页
2.2.2 等步长相位提取算法	第23-24页
2.2.3 未知相移量相位提取算法	第24-27页
2.3 双波长干涉原理及相位提取算法	第27-34页
2.3.1 双波长干涉原理	第29-30页
2.3.2 基于双波长干涉的相位提取算法	第30-34页
2.4 本章小结	第34-35页
第三章基于双波长干涉算法的物体重建	第35-51页
3.1 计算模拟作干涉图	第35-38页
3.2 在理想情况下重建物体表面形貌的过程	第38-42页
3.3 噪声在表面形貌重建中的影响	第42-50页
3.3.1 高斯噪声对表面形貌重建的影响	第42-46页
3.3.2 椒盐噪声对表面形貌重建的影响	第46-50页
3.4 本章小结	第50-51页
第四章基于双波长干涉微表面形貌测量的实验系统设计及研究	第51-60页
4.1 实验系统设计	第51-57页
4.1.1 光源部分	第52-53页
4.1.2 针孔滤波和扩束准直系统	第53-55页
4.1.3 迈克尔逊干涉	第55-56页
4.1.4 数据采集系统	第56-57页
4.2 微表面形貌测量的实验研究	第57-59页
4.2.1 双波长干涉系统的搭建	第57-58页
4.2.2 实验系统的调节方法	第58-59页
4.3 本章小结	第59-60页
第五章基于双波长干涉的微表面形貌测量实验结果分析	第60-71页
5.1 干涉图的校正	第60-63页
5.2 平面反射镜的测量结果及分析	第63-67页
5.2.1 曲线拟合的基本原理	第63-64页
5.2.2 测量结果及分析	第64-67页
5.3 凹面反射镜的测量结果及分析	第67-70页
5.4 本章小结	第70-71页
第六章总结与展望	第71-72页
参考文献	第72-75页
发表论文和参加科研情况说明	第75-76页
致谢	第76页

本篇论文共76页，点击这进入下载页面。

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