图形衬底Si基GaAs材料热应力分布

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图形衬底Si基GaAs材料热应力分布

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图形衬底Si基GaAs材料热应力分布

论文目录
摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-11页
第一章绪论	第11-19页
1.1 GaAs/Si的研究背景	第11-12页
1.2 研究内容及意义	第12-15页
1.3 论文结构安排	第15-16页
1.4 论文创新点	第16页
参考文献	第16-19页
第二章图形衬底GaAs/Si材料概述	第19-26页
2.1 高宽比捕获	第20-21页
2.1.1 高宽比捕获的原理及机制	第20页
2.1.2 高宽比捕获的研究现状	第20-21页
2.1.3 高宽比捕获的发展趋势	第21页
2.2 侧向外延	第21-23页
2.2.1 侧向外延的原理及机制	第21-22页
2.2.2 侧向外延的研究现状	第22页
2.2.3 侧向外延的发展趋势	第22-23页
2.3 本章小结	第23页
参考文献	第23-26页
第三章热应力理论基础及研究方法	第26-36页
3.1 热应力理论基础	第26-28页
3.1.1 弹性理论基础	第26-27页
3.1.2 热失配应变及应力分析	第27-28页
3.2 热应力表征方法	第28-31页
3.2.1 光致发光谱(PL)	第28-29页
3.2.2 拉曼光谱	第29-30页
3.2.3 X射线衍射技术(XRD)	第30-31页
3.3 热应力计算方法	第31-34页
3.3.1 解析计算方法	第32-34页
3.3.2 有限元法数值计算	第34页
3.4 本章小结	第34页
参考文献	第34-36页
第四章有限元法数值计算	第36-43页
4.1 有限元法基础	第36页
4.2 热应力问题的有限元解法	第36-38页
4.3 有限元法数值计算软件	第38-39页
4.4 有限元法数值计算的准确性验证	第39-41页
4.5 本章小结	第41页
参考文献	第41-43页
第五章 GaAs/Si材料的热应力分布及优化	第43-54页
5.1 平面衬底GaAs/Si材料的热应力分布	第43-44页
5.2 图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布	第44-48页
5.3 图形衬底GaAs/Si材料的结构参数的优化	第48-52页
5.3.1 掩膜厚度对图形衬底GaAs/Si材料热应力分布的影响	第48-49页
5.3.2 窗口宽度对图形衬底GaAs/Si材料热应力分布的影响	第49-50页
5.3.3 掩膜宽度对图形衬底GaAs/Si材料热应力分布的影响	第50-52页
5.4 本章小结	第52页
参考文献	第52-54页
第六章总结与展望	第54-56页
6.1 总结	第54-55页
6.2 展望	第55-56页
致谢	第56-58页
攻读学位期间发表的学术论文目录	第58页

本篇论文共58页，点击这进入下载页面。

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