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掺杂纳米硅薄膜的制备及其光电学特性

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掺杂纳米硅薄膜的制备及其光电学特性
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-9页
第1章 绪论第9-14页
  · nc-Si:H薄膜太阳电池的研究现状第9-12页
    · nc-Si:H薄膜电池的国外研究现状第9-10页
    · nc-Si:H薄膜电池的国内研究现状第10-12页
  · 研究意义与技术路线第12-14页
    · 研究意义第12页
    · 实验技术路线第12-14页
第2章 实验方法第14-19页
  · 样品制备第14-15页
    · 衬底清洗第14页
    · PECVD系统第14-15页
    · 样品制备第15页
  · 分析与测试方法第15-19页
    · 厚度测量第15-16页
    · 组分分析第16页
    · 晶化率计算第16-17页
    · 光吸收分析第17-18页
    · 电导率计算第18页
    · 霍尔测试第18-19页
第3章 nc-Si(P):H薄膜的制备及其光电特性第19-34页
  · PH_3浓度对nc-Si(P)膜的影响第19-29页
    · 晶化率和晶粒尺寸第19-21页
    · 生长速率第21-22页
    · 组分分析第22-25页
    · 光吸收系数和光学带隙第25-28页
    · 电学特性第28-29页
  · 衬底温度对nc-Si(P):H膜的影响第29-33页
    · 生长速率第30页
    · 薄膜结构第30-31页
    · 光学特性第31-32页
    · 电学特性第32-33页
  · SiH_4浓度对nc-Si(P):H膜光学带隙的影响第33-34页
第4章 nc-Si(B):H薄膜的制备及其光电特性第34-44页
  · nc-Si(B):H的结构表征第34-39页
    · B_2H_6浓度对其晶化率和晶粒尺寸的影响第34-35页
    · B_2H_6浓度对其生长速率的影响第35-36页
    · B_2H_6浓度对其组分的影响第36-37页
    · 衬底温度对nc-Si(B):H薄膜晶化率的影响第37-38页
    · SiH_4浓度对nc-Si(B):H晶化率的影响第38-39页
    · 射频功率对nc-Si(B):H晶化率的影响第39页
  · nc-Si(B):H的光学特性第39-42页
    · B_2H_6浓度对nc-Si(B):H薄膜光吸收系数和光学带隙的影响第39-41页
    · 衬底温度对光学带隙的影响第41-42页
  · nc-Si(B):H的电学特性第42-44页
    · B_2H_6浓度对nc-Si(B):H薄膜电导率的影响第42页
    · 衬底温度对nc-Si(B):H薄膜电导率的影响第42-43页
    · 射频功率对nc-Si(B):H薄膜电导率的影响第43-44页
第5章 p-i-n太阳电池制备及其光伏特性第44-47页
  · p(nc-Si:H)/i(nc-Si:H)/n(nc-Si:H)型结构电池的制备第44-45页
  · i层厚度对电池性能的影响第45-47页
第6章 结论第47-49页
参考文献第49-53页
致谢第53-54页
硕士研究生在读期间发表的论文第54 页

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