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压力微传感器性能测试与研究

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压力微传感器性能测试与研究
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-7页
1 绪论第7-10页
  · 选题背景第7页
  · 微传感器测试技术的研究现状与发展趋势第7-9页
    · 国内外研究现状第8页
    · 微传感器测试的关键技术第8-9页
  · 课题意义与主要研究内容第9-10页
2 压阻式压力微传感器的设计第10-25页
  · 相关理论基础第10-12页
    · 压阻效应第10-12页
    · 小挠度理论基础第12页
  · 压阻式微压力传感器的工作原理第12-15页
  · 压阻式微压力传感器的结构设计第15-20页
    · 硅杯结构设计和材料的选择第15-16页
    · 弹性薄膜的厚度第16-19页
    · 硅杯掩模窗口的边长确定第19-20页
  · 压敏电阻的设计第20-22页
  · 工艺流程的设计第22-24页
  · 本章小结第24-25页
3 压阻式压力微传感器测试装置硬件设计第25-37页
  · 总体设计第25-26页
  · 检测电路设计第26-29页
  · 温度控制电路设计第29-36页
  · 本章小结第36-37页
4 系统软件设计第37-44页
  · 软件平台第37-39页
  · 子程序的设计第39-43页
  · 本章小结第43-44页
5 压阻式压力微传感器的测试与分析第44-52页
  · 压力传感器的测试第44-48页
  · 结果与分析第48-51页
  · 本章小结第51-52页
结论第52-53页
展望第53-54页
参考文献第54-57页
申请学位期间的研究成果及发表的学术论文第57-58页
致谢第58 页

本篇论文共58页,点击这进入下载页面。
 
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