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压力微传感器性能测试与研究

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压力微传感器性能测试与研究

论文目录
摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
1 绪论	第7-10页
· 选题背景	第7页
· 微传感器测试技术的研究现状与发展趋势	第7-9页
· 国内外研究现状	第8页
· 微传感器测试的关键技术	第8-9页
· 课题意义与主要研究内容	第9-10页
2 压阻式压力微传感器的设计	第10-25页
· 相关理论基础	第10-12页
· 压阻效应	第10-12页
· 小挠度理论基础	第12页
· 压阻式微压力传感器的工作原理	第12-15页
· 压阻式微压力传感器的结构设计	第15-20页
· 硅杯结构设计和材料的选择	第15-16页
· 弹性薄膜的厚度	第16-19页
· 硅杯掩模窗口的边长确定	第19-20页
· 压敏电阻的设计	第20-22页
· 工艺流程的设计	第22-24页
· 本章小结	第24-25页
3 压阻式压力微传感器测试装置硬件设计	第25-37页
· 总体设计	第25-26页
· 检测电路设计	第26-29页
· 温度控制电路设计	第29-36页
· 本章小结	第36-37页
4 系统软件设计	第37-44页
· 软件平台	第37-39页
· 子程序的设计	第39-43页
· 本章小结	第43-44页
5 压阻式压力微传感器的测试与分析	第44-52页
· 压力传感器的测试	第44-48页
· 结果与分析	第48-51页
· 本章小结	第51-52页
结论	第52-53页
展望	第53-54页
参考文献	第54-57页
申请学位期间的研究成果及发表的学术论文	第57-58页
致谢	第58 页

本篇论文共58页，点击这进入下载页面。

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