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Cu基ITO柔性透明导电薄膜的制备及物性研究

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Cu基ITO柔性透明导电薄膜的制备及物性研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-11页
1 引言第11-19页
  · 透明导电膜的发展及应用第11-12页
  · 多层结构复合膜的应用与研究现状第12-13页
  · SiO_2物性及 SiO_2薄膜应用第13-14页
    · SiO_2物性第13-14页
    · SiO_2薄膜应用第14页
  · ITO 薄膜相结构及电学性能简介第14-15页
    · ITO 薄膜的相结构第14-15页
    · ITO 薄膜电学性能第15页
  · Cu 的物性及 Cu 薄膜简介第15页
  · PET 简介第15-16页
  · 多层膜的光学性质理论计算第16-18页
    · 金属薄膜的光学性质第16-17页
    · 多层介质膜的反射率和透射率第17-18页
  · 本课题研究的目的与意义第18-19页
2 薄膜的制备方法及性能表征第19-28页
  · 薄膜的制备方法第19-20页
    · 离子溅射原理第19页
    · 磁控溅射原理第19-20页
  · 本研究的设备概况、实验参数、样品制备过程第20-21页
    · 本研究的设备概况第20-21页
    · 本研究的试验参数第21页
    · 薄膜的制备过程第21页
  · 样品的表征第21-28页
    · 薄膜光学性质的测量第21-23页
    · 薄膜电学性质的表征第23-25页
    · 薄膜晶体结构分析第25-26页
    · 薄膜的形貌表征第26-28页
3 膜系设计以及 Si02缓冲层厚度对 ITO/Cu/ITO 薄膜物性的影响第28-36页
  · Cu 基柔性 ITO/Cu/ITO 膜系的选择第28-29页
    · 同厚度的 ITO 薄膜和 ITO/Cu/ITO 薄膜光学性能比较第28-29页
    · 同厚度的 ITO 薄膜和 ITO/Cu/ITO 薄膜电学性质比较第29页
  · SiO_2缓冲层厚度对 ITO/Cu/ITO 薄膜物性的影响第29-34页
    · SiO_2/ITO/Cu/ITO 薄膜的制备第29-30页
    · SiO_2层厚度对薄膜结构的影响第30-31页
    · SiO_2层厚度对薄膜表面形貌的影响第31-32页
    · SiO_2层厚度对薄膜光学性质的影响第32-33页
    · SiO_2层厚度对薄膜电学性质的影响第33-34页
      · SiO_2层厚度对薄膜面电阻和电阻率的影响第33-34页
      · SiO_2层厚度对薄膜载流子浓度以及霍尔迁移率的影响第34页
  · 具有不同厚度 SiO_2缓冲层的 ITO/Cu/ITO 薄膜的品质常数第34-35页
  · 本章小结第35-36页
4 Cu 层厚度对 SiO_2/ITO/Cu/ITO 薄膜性能的影响第36-43页
  · SiO_2/ITO/Cu/ITO 薄膜的制备第36页
  · 有无缓冲层的 ITO/Cu/ITO 薄膜性能比较第36-37页
    · PET 及 ITO/Cu/ITO 薄膜表面形貌第36页
    · SiO_2/ITO/Cu/ITO 薄膜的光学透过率第36-37页
    · SiO_2/ITO/Cu/ITO 薄膜的电学性能比较第37页
  · Cu 层厚度对薄膜物性的影响第37-42页
    · Cu 层厚度对薄膜结构的影响第38-39页
    · Cu 层厚度对薄膜光学性质的影响第39-41页
    · Cu 层厚度对薄膜电学性质的影响第41-42页
  · 具有不同 Cu 层厚度的 SiO_2/ITO/Cu/ITO 薄膜的品质常数第42页
  · 本章小结第42-43页
5 ITO 层厚度对 SiO_2/ITO/Cu/ITO 薄膜物性影响第43-47页
  · ITO 层厚度对薄膜结构的影响第43-45页
  · ITO 层厚度对薄膜光学性质的影响第45-46页
  · ITO 层厚度对薄膜电学性质的影响第46页
  · 本章小结第46-47页
6 结论与展望第47-49页
  · 结论第47页
  · 展望第47-49页
参考文献第49-54页
在读硕士学位期间公开发表的论文清单第54-55页
致谢第55页

本篇论文共55页,点击这进入下载页面
 
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