基于NiFeCo/Cu多层膜巨磁电阻（GMR）的磁微球检测

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基于NiFeCo/Cu多层膜巨磁电阻（GMR）的磁微球检测

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基于NiFeCo/Cu多层膜巨磁电阻（GMR）的磁微球检测

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-9页
第一章概述	第9-16页
1.1 生物传感技术及分类	第9-11页
1.1.1 生物传感技术	第9页
1.1.2 生物传感技术的分类	第9-11页
1.2 GMR 生物传感器	第11-14页
1.2.1 自旋阀型GMR 器件	第12-13页
1.2.2 多层膜型GMR 器件	第13-14页
1.3 本论文研究的内容及意义	第14页
参考文献	第14-16页
第二章巨磁电阻（GMR）效应	第16-26页
2.1 巨磁电阻（GMR）效应	第16-19页
2.1.1 OMR	第17页
2.1.2 AMR	第17-18页
2.1.3 多层膜的GMR 效应	第18-19页
2.2 GMR 效应的理论解释及模型	第19-21页
2.2.1 理论解释	第19-20页
2.2.2 GMR 起因的理论模型	第20-21页
2.3 多层膜层间耦合的振荡现象	第21-22页
2.4 自旋阀等其他GMR 结构	第22-23页
2.4.1 自旋阀型GMR	第22-23页
2.4.2 其它类型的GMR 结构	第23页
2.5 小结	第23-24页
参考文献	第24-26页
第三章 NiFeCo/Cu 多层膜	第26-40页
3.1 磁控溅射	第26-29页
3.1.1 溅射及磁控溅射	第26-27页
3.1.2 MPS－3000－HC5 超高真空磁控溅射仪	第27-29页
3.2 NiFeCo/Cu 多层膜的制备及实验内容	第29-30页
3.2.1 制备条件	第29-30页
3.2.2 实验内容	第30页
3.3 影响多层膜GMR 的各因素	第30-35页
3.3.1 缓冲层对多层膜GMR 的影响	第31-32页
3.3.2 非磁层对多层膜GMR 的影响	第32-33页
3.3.3 铁磁层对多层膜GMR 的影响	第33-34页
3.3.4 其他影响多层膜GMR 的因素	第34-35页
3.4 优化参数的 NiFeCo/Cu 多层膜	第35-36页
3.5 磁场下的退火处理	第36-37页
3.6 小结	第37-38页
参考文献	第38-40页
第四章 GMR 器件制备及工作原理	第40-63页
4.1 各种器件布局方案	第40-45页
4.1.1 使用一个GMR 电阻进行传感	第40-41页
4.1.2 采用两个电阻的方法	第41-43页
4.1.3 电桥的形式	第43-45页
4.2 器件的制备步骤	第45-49页
4.2.1 器件的布局	第45-46页
4.2.2 器件的制备过程	第46-49页
4.3 GMR 器件工作原理分析	第49-56页
4.3.1 GMR 器件的工作原理	第50-54页
4.3.2 关于水平模式	第54-56页
4.4 单个磁微球偶极场及信号的计算	第56-61页
4.4.1 单个磁微球的偶极场	第56-58页
4.4.2 单个磁微球产生的信号	第58-61页
4.5 小结	第61页
参考文献	第61-63页
第五章基于制备的GMR 器件的实际测试	第63-72页
5.1 测试方法及平台搭建	第63-64页
5.2 GMR 电阻的R-H 曲线	第64-65页
5.3 GMR 器件对外加磁场的信号响应	第65-69页
5.3.1 无磁微球时器件的信号响应	第66-67页
5.3.2 有磁微球时器件的信号响应	第67-69页
5.4 信号基点的漂移	第69-70页
5.5 本研究存在的问题	第70页
5.6 小结	第70-71页
参考文献	第71-72页
第六章总结与展望	第72-74页
致谢	第74-75页
攻读学位期间录用、发表和投稿的学术论文目录	第75-78页
上海交通大学学位论文答辩决议书	第78页

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