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透明介质下微结构表面形貌的Linnik显微干涉测量技术

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透明介质下微结构表面形貌的Linnik显微干涉测量技术
论文目录
 
中文摘要第1-4 页
英文摘要第4-7 页
第一章 绪论第7-14 页
  · MEMS 的发展概况第7-9 页
  · MEMS 测试技术第9-11 页
  · 长工作距离及透过透明介质测量的研究现状第11-12 页
  · 课题研究的主要目的和内容第12-14 页
第二章 相移显微干涉测量技术第14-26 页
  · 显微干涉技术第14-16 页
  · 相移干涉技术第16-22 页
    · 时间相移干涉技术第17-19 页
    · 相位提取算法第19-22 页
  · 相位展开技术第22-23 页
  · 透明介质对于光路的影响第23-26 页
第三章 长工作距离显微干涉测量系统第26-35 页
  · 系统光路设计第26-27 页
  · 初期建立的长工作距离测量系统第27-28 页
  · 测量系统的改进设计第28-35 页
    · 照明系统及其固定装置第30-31 页
    · 成像与图像采集部分第31-33 页
    · 相移器及固定装置第33-35 页
第四章 实验及其分析第35-54 页
  · 表面形貌解调算法第35-36 页
  · 系统评价实验第36-48 页
    · 十倍显微物镜测试实验第37-42 页
    · 二十倍显微物镜测试实验第42-46 页
    · 五十倍显微物镜测试实验第46-48 页
  · 实际MEMS 器件测试实验第48-54 页
    · 矩形悬臂梁测试实验第48-50 页
    · 微谐振器测试实验第50-54 页
第五章 总结与展望第54-55 页
参考文献第55-58 页
发表论文和参加科研情况说明第58-59 页
致谢第59 页

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