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Ti1-2xAlxNbxO2陶瓷及薄膜介电性质的研究

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Ti1-2xAlxNbxO2陶瓷及薄膜介电性质的研究
论文目录
 
中文摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 引言第11-22页
  1.1 电介质的基本概念与基本介电性质第11-13页
  1.2 电介质材料与高介电常数材料第13-14页
  1.3 介电常数材料的研究背景第14-15页
  1.4 巨介电材料的研究现状第15-16页
    1.4.1 CaCu_3Ti_4O_(12)(CCTO)第15-16页
    1.4.2 非铁电过渡金属氧化物材料第16页
    1.4.3 Ti_(1-2x)In_xNb_xO_2巨介电材料第16页
  1.5 本文的研究意义与研究内容第16-19页
参考文献第19-22页
第二章 Ti_(1-2x)Al_xNb_xO_2陶瓷的制备、结构表征及电学性质的检测第22-27页
  2.1 陶瓷样品的制备第22-23页
  2.2 陶瓷样品的结构表征第23-25页
    2.2.1 X射线衍射分析(XRD)第23-24页
    2.2.2 扫描电子显微镜分析(SEM)第24页
    2.2.3 X射线光电子能谱分析(XPS)与能量色散X射线光谱分析(EDS)第24页
    2.2.4 拉曼光谱分析第24-25页
  2.3 陶瓷样品电学性质的检测第25-26页
    2.3.1 陶瓷样品电极的制备第25页
    2.3.2 室温下的介电性能的测量第25页
    2.3.3 介电温度谱的测量第25-26页
参考文献第26-27页
第三章 Ti_(0.96)Al_(0.02)Nb_(0.02)O_2薄膜样品的制备与表征方法第27-32页
  3.1 脉冲激光沉积法第27-29页
    3.1.1 脉冲激光沉积过程及其特点第27-28页
    3.1.2 脉冲激光沉积系统和沉积参数分析第28-29页
    3.1.3 PLD制备Ti_(0.96)Al_(0.02)Nb_(0.02)O_2薄膜样品第29页
  3.2 磁控溅射制备薄膜样品Pt上电极第29-30页
  3.3 薄膜性质的测试方法第30-31页
参考文献第31-32页
第四章 Ti_(1-2x)Al_xNb_x O_2陶瓷的微观结构与介电性质的研究第32-57页
  4.1 引言第32-33页
  4.2 Ti_(1-2x)Al_xNb_xO_2陶瓷的微观结构研究第33-41页
    4.2.1 Ti_(1-2x)Al_xNb_x O_2陶瓷的物相及晶体结构分析第33-35页
    4.2.2 Ti_(1-2x)Al_xNb_x O_2陶瓷的直观颜色与微观形貌分析第35-37页
    4.2.3 Ti_(1-2x)Al_xNb_x O_2陶瓷的元素以及价态分析第37-41页
  4.3 Ti_(1-2x)Al_xNb_xO_2陶瓷的介电性能研究第41-52页
    4.3.1 Ti_(1-2x)Al_xNb_x O_2陶瓷最佳条件的摸索第41-44页
    4.3.2 单独掺杂Al或者Nb元素时的介电性能第44-45页
    4.3.3 Ti_(0.96)Al_(0.02)Nb_(0.02)O_2表面势垒极化效应与晶界界面效应的研究第45-47页
    4.3.4 不同掺杂浓度Ti_(1-2x)Al_xNb_xO_2(x=0,0.005,0.01,0.02,0.05)的电阻与电导率的研究第47-48页
    4.3.5 Ti_(0.96)Al_(0.02)Nb_(0.02)O_2不同气氛下退火介电性能研究第48-49页
    4.3.6 Ti_(0.96)Al_(0.02)Nb_(0.02)O_2介电温度谱的研究第49-52页
  4.4 锐钛矿TiO_2掺杂其它元素的介电性能研究第52-54页
    4.4.1 (Zn_(1/2)Nb)_xTi_(1-3/2x)O_2介电性能的初步研究第52-53页
    4.4.2 (Ag_(0.02/3)Nb_(0.02))Ti_(1-0.08/3)O_2介电性能的初步研究第53-54页
  4.5 本章小结第54-55页
参考文献第55-57页
第五章 Ti_(0.96)Al_(0.02)Nb_(0.02)O_2薄膜的微观结构与介电性质的研究第57-65页
  5.1 引言第57页
  5.2 Ti_(0.96)Al_(0.02)Nb_(0.02)O_2薄膜的微观结构研究第57-59页
  5.3 Ti_(0.96)Al_(0.02)Nb_(0.02)O_2薄膜的常温介电性能研究第59-60页
  5.4 Ti_(0.96)Al_(0.02)Nb_(0.02)O_2薄膜的价态分析第60-63页
  5.5 本章小结第63-64页
参考文献第64-65页
第六章 总结第65-67页
攻读硕士学位期间公开发表的论文第67-68页
致谢第68-69页

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