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硅基MEMS微波带通滤波器的设计及制备

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硅基MEMS微波带通滤波器的设计及制备
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
· 绪论第9-17页
  · 课题研究背景及意义第9-11页
  · 国内外MEMS滤波器研究现状第11-16页
    · MEMS微机械滤波器第12-14页
    · 压电RF MEMS第14-15页
    · MEMS可调谐滤波器第15-16页
  · 本论文主要研究内容第16-17页
· MEMS滤波器的理论基础第17-31页
  · 滤波器主要技术参数第17-20页
  · 阶跃阻抗谐振器SIR结构第20-22页
  · 交指带通滤波器第22-25页
  · 耦合系数和外部品质因数的提取第25-30页
    · 滤波器的网络综合法第26-27页
    · 耦合系数的提取第27-28页
    · 有载品质因数的提取第28-30页
  · 本章小结第30-31页
· MEMS滤波器的设计及仿真第31-43页
  · 交指带通滤波器的设计第31-34页
  · MEMS滤波器结构设计第34-35页
  · MEMS滤波器电磁仿真第35-40页
    · 2.35GHz滤波器的设计仿真第35-37页
    · 10.9GHz滤波器仿真结果第37-38页
    · 20.4GHz滤波器的设计仿真第38-39页
    · 其他滤波器的仿真结果第39-40页
  · 参数变化对滤波器性能的影响分析第40-42页
    · 衬底电阻率对滤波器性能的影响第40页
    · 衬底厚度对滤波器性能的影响第40-41页
    · 通孔形状对滤波器性能的影响第41-42页
  · 本章小结第42-43页
· MEMS滤波器的制备第43-59页
  · MEMS微波带通滤波器版图设计第43-46页
    · MEMS滤波器的整体版图第43页
    · MEMS滤波器的分层版图第43-46页
  · 工艺介绍第46-50页
    · 清洗工艺第46-47页
    · 光刻工艺第47页
    · 氧化工艺第47-48页
    · 刻蚀工艺第48-49页
    · 金属化第49页
    · 键合第49-50页
  · 单项实验第50-55页
    · 通孔刻蚀(TSV)实验第50-52页
    · 硅片表面金属化实验第52-53页
    · 交指电极的制备第53-54页
    · 通孔侧壁金属化第54-55页
  · 工艺流程设计第55-58页
  · 本章小结第58-59页
· MEMS滤波器性能测试第59-64页
  · 滤波器测试方法介绍第59-60页
  · 滤波器实物测试和分析第60-63页
    · 滤波器的测试结果第60-61页
    · MEMS微波滤波器结果分析第61-63页
  · 本章小结第63-64页
· 总结与展望第64-66页
  · 工作总结第64页
  · 工作展望第64-66页
参考文献第66-72页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果第72-73页
致谢第73-74页

本篇论文共74页,点击这进入下载页面
 
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