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基于双波长移相干涉的光学非均匀性检测技术研究

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基于双波长移相干涉的光学非均匀性检测技术研究
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-7页
1 绪论第7-18页
  · 课题研究背景第7页
  · 国内外研究现状第7-17页
    · 双波长移相干涉仪的分类第7-13页
    · 光学非均匀性的检测方法概述第13-17页
  · 主要研究内容第17-18页
2 双波长移相干涉技术的基本原理第18-27页
  · 移相干涉技术的基本原理第18-23页
    · 移相干涉技术的基本原理第18-20页
    · 移相算法分类第20-23页
  · 双波长干涉测试技术的基本原理第23-26页
    · 双波长移相干涉技术的基本原理第23-25页
    · 双波长移相干涉技术的误差放大效应及其消除第25-26页
  · 本章小结第26-27页
3 斐索式双波长移相干涉仪的整体光路设计第27-40页
  · 斐索式双波长移相干涉仪的整体光路方案设计第27-35页
    · 扩束准直系统第28-29页
    · 准直系统的光路结构设计第29-30页
    · 对点调整光路与测试成像光路第30-31页
    · 成像透镜组的设计第31-35页
  · 硬件参数选择第35-37页
    · 激光器参数选择第35-37页
    · 探测器参数选择第37页
  · 装调方案及过程第37-39页
  · 本章小结第39-40页
4 光学非均匀性的双波长干涉测试方案第40-50页
  · 光学非均匀性定义第40-41页
  · 采用传统的绝对测量方法测量光学非均匀性的理论基础第41-42页
  · 光学非均匀性的双波长干涉测试方案的理论分析第42-46页
  · 计算机模拟仿真结果第46-49页
  · 本章小结第49-50页
5 测量误差因素的模拟仿真与实验分析第50-72页
  · 测量误差因素的模拟仿真第50-65页
    · 像素错位误差的模拟仿真第50-55页
    · CCD探测器分辨率的误差模拟仿真第55-60页
    · 楔形板的样品厚度的误差模拟仿真第60-65页
  · 验证性实验研究第65-70页
    · 采用双波长移相干涉测量光学非均匀性的实验结果第65-67页
    · 采用ZYGO干涉仪测量光学非均匀性的实验结果第67-70页
  · 系统测量误差分析第70-71页
  · 本章小结第71-72页
6 总结与展望第72-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-78页
附录第78页

本篇论文共78页,点击这进入下载页面
 
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