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射频微机电开关的设计与研究
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射频微机电开关的设计与研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第一章 绪论第8-17页
　　· 课题研究背景第8-12页
　　　　1.1.1 MEMS及RF MEMS技术第8-9页
　　　　1.1.2 RF MEMS开关的研究意义第9-11页
　　　　1.1.3 RF MEMS开关的分类第11-12页
　　· 研究现状第12-14页
　　　　· 串联接触式开关研究现状第13页
　　　　· 并联电容式开关研究现状第13-14页
　　· 研究目标第14-15页
　　· 本论文主要研究内容第15-17页
第二章 RF MEMS单刀单掷开关的理论基础第17-26页
　　· 引言第17页
　　2.2 RF MEMS开关的工作原理及结构第17-19页
　　　　· 串联接触式开关第17-18页
　　　　· 并联电容式开关第18-19页
　　2.3 RF MEMS开关的重要参数第19-22页
　　　　· 开启电压第19-21页
　　　　· 插入损耗和隔离度第21页
　　　　· 可靠度第21页
　　　　· 开关时间第21-22页
　　　　· 回波损耗第22页
　　2.4 RF MEMS开关传输线第22-25页
　　　　· 微带线第22-23页
　　　　· 共面波导(CPW)第23-24页
　　　　· 阻抗匹配原则第24-25页
　　· 本章小结第25-26页
第三章 RF MEMS单刀单掷开关的电磁模型仿真第26-35页
　　· 引言第26页
　　· 并联电容式开关的电磁模型分析第26-30页
　　　　· 等效电容第26-27页
　　　　· 开关损耗第27-28页
　　　　· 分析仿真第28-30页
　　· 并联电容式开关开启电压分析第30-34页
　　　　· 桥膜厚度变化影响第31页
　　　　· 桥膜长度变化影响第31-32页
　　　　· 桥膜宽度变化影响第32页
　　　　· 桥膜高度变化影响第32-33页
　　　　· 共面波导的变化影响第33-34页
　　　　· 对开启电压仿真结果分析设计第34页
　　· 本章小结第34-35页
第四章 MEMS单刀单掷开关的设计第35-45页
　　· 引言第35页
　　· 并联电容式开关的设计第35-38页
　　　　· 共面波导的设计第35-36页
　　　　· 并联电容式开关3D模型第36-38页
　　· 串联接触式开关的设计第38-39页
　　　　· 微带线的设计第38页
　　　　· 串联接触式式开关3D模型第38-39页
　　4.4 RF MEMS单刀单掷开关的优化第39-44页
　　　　· 介质层的仿真与优化第39-42页
　　　　· 并联电容式开关的仿真第42页
　　　　· 串联电阻式开关的仿真第42-44页
　　· 本章小结第44-45页
第五章 MEMS单刀双掷开关的设计第45-58页
　　· 引言第45页
　　5.2 RF MEMS单刀双掷开关理论基础第45-49页
　　　　· 1/4波长传输线理论第45-48页
　　　　· 三端口网络(T型结)的设计第48-49页
　　· 单刀双掷开关的3D模型第49-57页
　　　　· 并联式单刀双掷开关第49-53页
　　　　· 串联式单刀双掷开关第53-55页
　　　　· 串并混合单刀双掷开关第55-57页
　　· 本章小结第57-58页
第六章 RF MEMS单刀双掷开关的分析优化第58-71页
　　· 引言第58页
　　6.2 RF MEMS开关的建模第58-59页
　　· 并联单刀双掷开关A的仿真优化第59-64页
　　　　· 并联开关A的仿真第59-60页
　　　　· 并联开关A的优化第60-62页
　　　　· 并联开关B的仿真第62页
　　　　· 并联开关B的优化第62-64页
　　· 串联单刀双掷开关的仿真优化第64-65页
　　· 串并混合单刀双掷开关第65-70页
　　　　· 串并混合开关的仿真第65-67页
　　　　· 串并混合开关的优化第67-70页
　　· 本章小结第70-71页
第七章 总结与展望第71-72页
参考文献第72-75页
致谢第75 页

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