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N掺杂Ga_2O_3薄膜的理论与实验研究
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N掺杂Ga_2O_3薄膜的理论与实验研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-8页
目录
第8-10页
第一章 综述
第10-14页
· 研究背景与研究目的
第10页
· 国内外研究现状
第10-11页
· 理论研究现状
第10页
· 实验研究现状
第10-11页
· β-Ga_2O_3的结构和性质
第11-12页
· β-Ga_2O_3的结构特性
第11页
· β-Ga_2O_3光电性质
第11-12页
· 第一性原理及 CASTEP 介绍
第12-13页
· 第一性原理介绍
第12页
· CASTEP 软件介绍
第12-13页
· 磁控溅射方法介绍
第13-14页
第二章 N 掺杂β-Ga_2O_3的理论研究
第14-22页
· 研究背景与意义
第14页
· 计算细节
第14-15页
· 结果与讨论
第15-21页
· 几何结构
第15-16页
· 差分电荷
第16-17页
· 能带结构和态密度
第17-20页
· 光学性质
第20-21页
· 小结
第21-22页
第三章 N 掺杂β-Ga_2O_3薄膜的制备与性质的研究
第22-28页
· 研究背景与意义
第22页
· 实验细节
第22页
· 结果与讨论
第22-27页
· 微观结构
第22-24页
· 光学性质
第24-27页
· 小结
第27-28页
第四章 不同 N 浓度掺杂β-Ga_2O_3的理论研究
第28-37页
· 研究背景与意义
第28页
· 计算细节
第28页
· 结果与讨论
第28-36页
· 形成能与结构性质
第28-30页
· 差分电荷
第30-31页
· 能带结构和态密度
第31-34页
· 光学性质
第34-36页
· 小结
第36-37页
第五章 N-Zn 共掺杂β-Ga_2O_3的理论研究
第37-45页
· 研究背景与意义
第37页
· 计算细节
第37-38页
· 结果与讨论
第38-44页
· 几何结构
第38-39页
· 差分电荷
第39-40页
· 电子结构
第40-42页
· 光学性质
第42-44页
· 小结
第44-45页
第六章 结论与展望
第45-47页
· 结论
第45页
· 展望
第45-47页
参考文献
第47-53页
致谢
第53-54页
攻读硕士学位期间取得的科研成果
第54页
本篇论文共
54
页,
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