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N掺杂Ga_2O_3薄膜的理论与实验研究

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N掺杂Ga_2O_3薄膜的理论与实验研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-8页
目录第8-10页
第一章 综述第10-14页
  · 研究背景与研究目的第10页
  · 国内外研究现状第10-11页
    · 理论研究现状第10页
    · 实验研究现状第10-11页
  · β-Ga_2O_3的结构和性质第11-12页
    · β-Ga_2O_3的结构特性第11页
    · β-Ga_2O_3光电性质第11-12页
  · 第一性原理及 CASTEP 介绍第12-13页
    · 第一性原理介绍第12页
    · CASTEP 软件介绍第12-13页
  · 磁控溅射方法介绍第13-14页
第二章 N 掺杂β-Ga_2O_3的理论研究第14-22页
  · 研究背景与意义第14页
  · 计算细节第14-15页
  · 结果与讨论第15-21页
    · 几何结构第15-16页
    · 差分电荷第16-17页
    · 能带结构和态密度第17-20页
    · 光学性质第20-21页
  · 小结第21-22页
第三章 N 掺杂β-Ga_2O_3薄膜的制备与性质的研究第22-28页
  · 研究背景与意义第22页
  · 实验细节第22页
  · 结果与讨论第22-27页
    · 微观结构第22-24页
    · 光学性质第24-27页
  · 小结第27-28页
第四章 不同 N 浓度掺杂β-Ga_2O_3的理论研究第28-37页
  · 研究背景与意义第28页
  · 计算细节第28页
  · 结果与讨论第28-36页
    · 形成能与结构性质第28-30页
    · 差分电荷第30-31页
    · 能带结构和态密度第31-34页
    · 光学性质第34-36页
  · 小结第36-37页
第五章 N-Zn 共掺杂β-Ga_2O_3的理论研究第37-45页
  · 研究背景与意义第37页
  · 计算细节第37-38页
  · 结果与讨论第38-44页
    · 几何结构第38-39页
    · 差分电荷第39-40页
    · 电子结构第40-42页
    · 光学性质第42-44页
  · 小结第44-45页
第六章 结论与展望第45-47页
  · 结论第45页
  · 展望第45-47页
参考文献第47-53页
致谢第53-54页
攻读硕士学位期间取得的科研成果第54页

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