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AFM电场诱导氧化加工中微弱电流的检测

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AFM电场诱导氧化加工中微弱电流的检测
论文目录
 
中文摘要第1-4 页
英文摘要第4-7 页
第一章 绪论第7-17 页
  · 纳米科技概述第7-9 页
  · 纳米科技的应用第9-11 页
  · 纳米加工技术第11-14 页
  · 本课题的研究现状第14-15 页
  · 本课题的意义和主要研究工作第15-17 页
第二章 AFM电场诱导氧化理论第17-29 页
  · 引言第17-18 页
  · 原子力显微镜(AFM)第18-20 页
  · AFM电场诱导阳极氧化机理第20-27 页
  · 硅表面的电场氧化机理第27-29 页
第三章 基于AFM的纳米加工系统第29-39 页
  · DI多功能扫描探针显微镜第29-31 页
  · 纳米加工系统的设计第31-35 页
  · 探针与样品的制备第35-39 页
第四章 基于AFM阳极氧化下微弱电流的测量第39-60 页
  · 引言第39-40 页
  · 探针与样品之间的隧道效应和场发射效应第40-44 页
  · 点加工过程中微弱电流的检测第44-52 页
  · 线加工过程中微弱电流的检测第52-60 页
第五章 误差分析和结构评价第60-70 页
  · 基于AFM的纳米加工过程的误差分析第60-65 页
  · 影响AFM加工系统的其它因素第65-66 页
  · AFM加工结构的形状评价第66-70 页
第六章 结论与展望第70-72 页
参考文献第72-78 页
攻读硕士期间发表的论文和科研情况第78-79 页
致谢第79 页

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