稀土掺杂PZT压电陶瓷与薄膜材料的制备研究

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稀土掺杂PZT压电陶瓷与薄膜材料的制备研究

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稀土掺杂PZT压电陶瓷与薄膜材料的制备研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章绪论	第9-31页
· 引言	第9-10页
· PZT压电陶瓷概述	第10-13页
· PZT的晶体结构	第10-12页
· PZT压电陶瓷的性能参数	第12-13页
· PZT压电陶瓷研究现状与进展	第13-23页
· PZT压电陶瓷粉体的制备方法	第13-14页
· PZT压电陶瓷改性技术	第14-18页
· 压电陶瓷的低温烧结技术	第18页
· PZT压电陶瓷的应用	第18-21页
· PZT压电陶瓷制备存在的问题及解决的办法	第21-23页
· PZT薄膜的研究现状与进展情况	第23-28页
· PZT薄膜的制备方法	第23-25页
· PZT薄膜的掺杂改性研究现状	第25-27页
· PZT多层膜	第27页
· PZT压电薄膜的应用	第27-28页
· 本文的主要研究内容及意义	第28-31页
第二章实验设备及研究方法	第31-35页
· 主要实验原料及设备	第31-32页
· 实验原料	第31页
· 实验仪器与设备	第31-32页
· 实验分析表征方法	第32-35页
· 粉体的热重/差热分析	第32页
· 粉体粒度测试	第32页
· X射线衍射分析	第32-33页
· PZT靶材的密度测试	第33页
· SEM测试	第33-34页
· PZT的介电常数及介电损耗	第34页
· PZT的压电性能测试	第34页
· PZT薄膜的AFM测试分析	第34-35页
第三章固相法制备PZT压电陶瓷	第35-59页
· 实验准备	第35页
· 固相合成法制备PZT压电陶瓷靶材	第35-44页
· PZT粉体的制备	第36页
· 预烧温度的确定	第36-44页
· 掺杂系列	第44-47页
· 结果与讨论	第47-55页
· PZT靶材的微观结构与形貌	第47-52页
· PZT陶瓷的密度和介电性能	第52-55页
· PZT陶瓷的被银	第55-56页
· PZT陶瓷的极化	第56页
· PZT陶瓷的压电性能测试	第56-57页
· 本章小结	第57-59页
第四章 PLD法制备PZT薄膜	第59-77页
· PZT薄膜的制备	第59-61页
· 脉冲激光沉积系统	第59-60页
· 衬底的选择与清洗	第60页
· PZT薄膜制备工艺参数	第60-61页
· PLD法制备PZT薄膜	第61-63页
· 结果与讨论	第63-71页
· 掺杂离子占位分析	第71-74页
· 本章小结	第74-77页
第五章结论与展望	第77-81页
· 结论	第77-78页
· 展望	第78-81页
致谢	第81-83页
参考文献	第83-91页
附录A：攻读硕士期间发表论文目录	第91-93页
附录B：攻读硕士期间参与项目	第93页

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