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胶体刻蚀工艺制备纳米图案及图案功能的初步研究
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胶体刻蚀工艺制备纳米图案及图案功能的初步研究
论文目录
摘要
第1-7页
Abstract
第7-11页
第1章 绪论
第11-28页
· 引言
第11-12页
· 纳米材料概述
第12-14页
· 纳米材料的特性
第12-13页
· 纳米材料的现状及发展趋势
第13-14页
· 微纳米技术概述
第14-16页
· 微纳米技术的概念及应用
第14-15页
· 微纳米技术的种类
第15-16页
· 胶体刻蚀概述
第16-23页
· 胶体刻蚀的概念
第16-17页
· 纳米颗粒的自组装工艺
第17-19页
· 胶体刻蚀的发展及应用
第19-23页
· 溅射工艺概述
第23-26页
· 常规直流脉冲磁控溅射(DCMS)概述
第23-24页
· 高能脉冲磁控溅射(HiPPMS)概述
第24-26页
· 本课题的研究意义
第26页
· 研究内容
第26-27页
· 技术路线
第27-28页
第2章 胶体掩膜的自组装工艺
第28-35页
· 胶体掩膜的自组装
第28-30页
· 方法选择
第28页
· 滴涂法组装实验步骤
第28-29页
· 漂浮法组装实验步骤
第29-30页
· 自组装胶体晶体的表征
第30-31页
· 扫描电子显微镜
第30-31页
· 结果与讨论
第31-35页
· 滴涂法工艺质量
第31-32页
· 漂浮法工艺质量
第32-34页
· 本章小结
第34-35页
第3章 胶体掩膜的沉积工艺
第35-49页
· 直流磁控溅射工艺溅射沉积胶体掩膜
第35-38页
· 直流磁控溅射沉积工艺实验步骤
第35-36页
· 直流磁控溅射沉积的结果表征与分析
第36-38页
· 高能脉冲磁控溅射(HiPPMS)工艺溅射沉积胶体掩膜
第38-45页
· 高能脉冲磁控溅射沉积的实验步骤
第38-40页
· 高能脉冲磁控溅射的结果表征与分析
第40-45页
· 利用磁控溅射进行胶体掩膜沉积获得纳米图案的能力与基本策略
第45-49页
第4章 TiO_2表面沉积Cu纳米图形的功能学表征
第49-60页
· 表征方法
第49-51页
· 接触角实验
第49页
· 光催化实验
第49-50页
· 血小板粘附实验
第50-51页
· 平滑肌培养实验
第51页
· 实验步骤
第51-54页
· 水接触角实验
第51-52页
· 光催化实验
第52页
· 血小板粘附实验
第52-53页
· 平滑肌培养实验
第53-54页
· 结果与讨论
第54-59页
· 水接触角结果
第54-55页
· 光催化实验结果
第55-56页
· 血小板粘附实验结果
第56-58页
· 平滑肌培养实验结果
第58-59页
· 本章小结
第59-60页
结论及展望
第60-61页
致谢
第61-62页
参考文献
第62-67页
攻读硕士学位期间发表论文
第67页
参与科研项目
第67页
本篇论文共
67
页,
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