微纳器件激光退火工艺的优化和探索

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微纳器件激光退火工艺的优化和探索

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微纳器件激光退火工艺的优化和探索

论文目录
中文摘要	第1-10页
ABSTRACT	第10-13页
第一章绪论	第13-25页
1.1 研究背景	第13-17页
1.1.1 市场对高密度存储器需求的调研与分析	第13-14页
1.1.2 Flash的简介与面临的挑战	第14-17页
1.2 激光退火技术现状	第17-22页
1.2.1 激光退火的简介	第17-20页
1.2.2 短脉冲激光退火技术	第20页
1.2.3 飞秒激光技术及应用	第20-22页
1.3 影响激光退火质量的因素	第22-23页
1.3.1 激光光束类型的影响	第22页
1.3.2 激光能量密度的影响	第22-23页
1.3.3 激光脉冲宽度的影响	第23页
1.4 论文的主要工作及内容安排	第23-25页
第二章理论知识	第25-32页
2.1 半导体中的光吸收理论	第25-28页
2.1.1 半导体对激光的吸收原理	第25-26页
2.1.2 半导体中的吸收深度	第26-28页
2.2 激光与半导体材料相互作用的热传导理论	第28-30页
2.2.1 传热的基本理论	第28-29页
2.2.2 热传导方程	第29页
2.2.3 热传导的定解条件	第29-30页
2.3 热力学仿真中的数学物理方法	第30-32页
2.3.1 有限元法	第30页
2.3.2 有限差分法	第30-32页
第三章纳秒激光退火的热力学仿真	第32-45页
3.1 3D垂直沟道结构激光退火的建模仿真	第32-37页
3.1.1 有限元法与仿真软件	第32-33页
3.1.2 3D垂直沟道结构模型的建模仿真过程	第33-37页
3.2 仿真结果与分析	第37-43页
3.2.1 3D垂直沟道结构的温度场分布	第37-38页
3.2.2 激光参数对3D垂直沟道结构温度场分布与的影响	第38-40页
3.2.3 3D垂直沟道结构激光退火工艺的参考	第40-43页
3.3 本章小结	第43-45页
第四章飞秒激光与非晶硅作用的理论与实验研究	第45-59页
4.1 飞秒激光与材料相互作用的物理机制	第45-47页
4.2 飞秒激光非热过程的理论模型	第47-52页
4.2.1 双温模型及其求解	第47-50页
4.2.2 计算结果与分析	第50-52页
4.3 飞秒激光退火的实验研究	第52-58页
4.3.1 实验装置	第52-53页
4.3.2 飞秒激光退火前后非晶硅薄膜表面形貌的表征	第53-58页
4.4 本章小结	第58-59页
第五章总结与展望	第59-61页
参考文献	第61-66页
致谢	第66-67页
攻读学位期间发表的学术论文和参加科研情况	第67-68页
学位论文评阅及答辩情况表	第68页

本篇论文共68页，点击这进入下载页面。

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