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Ar/CF4,Ar/CF4/CF3I,Ar/湿空气混合气体电子群参数的Monte Carlo方法理论计算

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Ar/CF4,Ar/CF4/CF3I,Ar/湿空气混合气体电子群参数的Monte Carlo方法理论计算
论文目录
 
中文摘要第1-10页
ABSTRACT第10-12页
第一章 绪论第12-23页
  1.1 等离子体概述第12-17页
    1.1.1 等离子体的概念和特征第12-14页
    1.1.2 等离子体的应用第14-16页
    1.1.3 等离子体的产生方法第16-17页
  1.2 气体放电第17-20页
    1.2.1 气体放电类型第17-19页
    1.2.2 放电工作气体介绍第19-20页
  1.3 国内外研究现状第20-21页
  1.4 论文主要工作与结构第21-23页
第二章 蒙特卡罗方法计算步骤第23-32页
  2.1 蒙特卡罗方法概述第23-25页
    2.1.1 蒙特卡罗方法简介第23-24页
    2.1.2 蒙特卡罗方法的特点第24-25页
  2.2 蒙特卡罗方法的主要计算步骤第25-30页
    2.2.1 电子在工作气体中的散射类型第25-26页
    2.2.2 电子的运动方程第26-27页
    2.2.3 空碰撞技术第27-29页
    2.2.4 散射电子的空间坐标和电子群参数的确定第29-30页
  2.3 本章小结第30-32页
第三章 散射截面的选择第32-40页
  3.1 散射截面简介第32页
  3.2 Ar的散射截面第32-37页
    3.2.1 不同数据库截面的分析第32-34页
    3.2.2 Ar的不同截面数据下电子群参数的理论计算第34-37页
  3.3 其他气体截面数据的选择第37-39页
  3.4 本章小结第39-40页
第四章 混合气体电子群参数的计算第40-56页
  4.1 Ar/CF_4混合气体的电子群参数第40-45页
  4.2 Ar/CF_4/CF_3I混合气体的电子群参数第45-49页
  4.3 Ar/湿空气混合气体的电子群参数第49-54页
  4.4 本章小结第54-56页
第五章 总结与展望第56-58页
  5.1 主要成果与总结第56-57页
  5.2 工作展望第57-58页
参考文献第58-64页
致谢第64-65页
学位论文评阅及答辩情况表第65页

本篇论文共65页,点击这进入下载页面
 
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