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MoS2/Si pn结的制备及其光探测性能研究
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MoS2/Si pn结的制备及其光探测性能研究
论文目录
 
摘要第1-7页
abstract第7-11页
第一章 绪论第11-20页
　　1.1 前言第11-13页
　　1.2 常用的MoS_2薄膜制备技术第13-16页
　　　　1.2.1 物理气相沉积技术第13-14页
　　　　1.2.2 化学气相沉积第14-15页
　　　　1.2.3 制备方法特点分析第15-16页
　　1.3 薄膜的微观结构表征方法第16-20页
　　　　1.3.1 拉曼光谱第16页
　　　　1.3.2 X射线衍射第16-17页
　　　　1.3.3 X射线光电子能谱分析第17-18页
　　　　1.3.4 紫外光电子能谱第18-20页
第二章 pn结型光电器件的理论及研究现状第20-27页
　　2.1 pn结的能带理论第20-21页
　　2.2 pn结光伏特性第21-22页
　　2.3 pn结型太阳电池的主要技术参数第22-23页
　　　　2.3.1 开路电压第22页
　　　　2.3.2 短路电流第22页
　　　　2.3.3 填充因子第22-23页
　　　　2.3.4 太阳电池的转换效率第23页
　　2.4 pn结型自驱动光电探测器主要性能参数第23-24页
　　　　2.4.1 量子效率第23-24页
　　　　2.4.2 响应度和探测度第24页
　　　　2.4.3 响应时间第24页
　　2.5 MoS_2在光电器件领域的应用第24-26页
　　　　2.5.1 太阳能电池第24-25页
　　　　2.5.2 自驱动光电探测器第25-26页
　　2.6 本论文的主要内容第26-27页
第三章 MoS_2/Si pn结的制备第27-39页
　　3.1 引言第27页
　　3.2 MoS_2薄膜的制备第27-29页
　　　　3.2.1 制膜设备介绍第27-28页
　　　　3.2.2 靶材的制备第28页
　　　　3.2.3 基片的预处理第28-29页
　　　　3.2.4 薄膜沉积过程第29页
　　3.3 MoS_2薄膜的微观结构表征第29-34页
　　3.4 MoS_2电学性能测试第34-38页
　　3.5 本章小结第38-39页
第四章 MoS_2/Si pn结的光探测性能研究第39-66页
　　4.1 前言第39-40页
　　4.2 MoS_2/Si器件自驱动光探测性能影响的研究第40-50页
　　4.3 Pd掺杂对器件自驱动光探测性能影响的研究第50-61页
　　4.4 ITO/Pd:MoS_2/SiO2/Si器件自驱动光探测性能研究第61-64页
　　4.5 本章小结第64-66页
结论与展望第66-68页
结论第66页
展望第66-68页
参考文献第68-76页
攻读硕士学位期间的取得的学术成果第76-78页
致谢第78页

本篇论文共78页，点击这进入下载页面。
 
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