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InGaN/GaN量子阱结构生长与分析及PECVD法氮化硅薄膜工艺

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InGaN/GaN量子阱结构生长与分析及PECVD法氮化硅薄膜工艺
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-21页
  §· Ⅲ族氮化物材料第10-15页
    §· Ⅲ族氮化物材料和器件的发展历程第12-13页
    §· 氮化物半导体材料的MOCVD生长技术第13-15页
  §· 高分辨X射线衍射第15-18页
    §· 高分辨X射线衍射的发展与原理第15-18页
    §· PANalytical X'Pert-Pro MRD介绍第18页
  §· 扫描隧道电子显微镜(SEM)原子力显微镜(AFM)阴极荧光联合分析(CL)第18-19页
  §· 拉曼散射技术第19-20页
  §· 本文主要研究内容第20-21页
第二章 极性面c面InGaN/GaN量子阱结构的生长与表征第21-42页
  §· 引言第21页
  §· InGaN/GaN异质结结构的生长及HRXRD分析第21-26页
    §· InGaN/GaN薄膜生长第22页
    §· InGaN/GaN异质结结构组分测定及质量评价第22-26页
  §· InGaN/GaN异质结薄膜表面形貌及厚度第26-30页
  §· InGaN/GaN异质结生长方式与残余应力的拉曼散射研究第30-35页
    §· InGaN/GaN异质结样品弛豫型与假晶型的划分第31-32页
    §· 弛豫型与假晶型样品的声子振动模式与残余应力第32-35页
  §· InGaN/GaN蓝光多量子阱结构与结构参数第35-41页
  §· 本章小结第41-42页
第三章 极性面c面InGaN/GaN异质结结构缺陷与光学特性第42-54页
  §· 引言第42页
  §· InGaN/GaN异质结薄膜材料形貌中的三种缺陷坑第42-47页
    §· 阴极荧光联合分析系统(CL)与SEM形貌第43-44页
    §· 三种缺陷坑的分类与区别第44-47页
  §· 三种缺陷坑的形貌性质与发光性质第47-53页
  §· 本章小结第53-54页
第四章 PECVD法氮化硅薄膜生长工艺研究第54-64页
  §· 等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)第54-56页
  §· 薄膜生长速率与各个参数的关系第56-60页
  §· 薄膜生长条件优化第60-63页
  §· 本章小结第63-64页
第五章 结论第64-66页
参考文献第66-73页
研究生阶段发表论文、参加会议和专利第73-74页
致谢第74-76页

本篇论文共76页,点击这进入下载页面
 
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