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垒层生长气氛对InGaN/GaN多量子阱结构表面形貌演变行为的影响

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垒层生长气氛对InGaN/GaN多量子阱结构表面形貌演变行为的影响
论文目录
 
摘要第1-5页
abstract第5-9页
第一章 绪论第9-21页
  1.1 概述第9-10页
  1.2 GaN基材料晶体结构及其性质第10-15页
    1.2.1 晶体结构第10-11页
    1.2.2 物理性质第11-12页
    1.2.3 自发极化和压电效应第12-13页
    1.2.4 GaN的带隙第13-14页
    1.2.5 GaN的光电性质第14-15页
  1.3 GaN基LED简介第15-19页
    1.3.1 LED的发光原理第15页
    1.3.2 GaN基LED外延结构第15-17页
    1.3.3 衬底的选择第17-19页
  1.4 研究目的及研究内容第19-21页
    1.4.1 研究目的第19页
    1.4.2 研究内容第19-21页
第二章 GaN的MOCVD生长原理和常见表征方法第21-31页
  2.1 MOCVD材料生长GaN原理第21-22页
  2.2 MOCVD设备组成第22-25页
    2.2.1 气体输运系统第22-23页
    2.2.2 反应室及加热系统第23-24页
    2.2.3 原位监测系统第24-25页
    2.2.4 尾气处理系统第25页
    2.2.5 安全系统第25页
  2.3 材料表征方法第25-31页
    2.3.1 高分辨X射线衍射仪第25-27页
    2.3.2 光致发光谱仪第27页
    2.3.3 原子力显微镜第27-31页
第三章 N_2/H_2混合气生长GaN垒层对蓝光InGaN/GaN多量子阱表面形貌的影响第31-41页
  3.1 引言第31页
  3.2 实验部分第31-32页
  3.3 结果与分析第32-38页
    3.3.1 XRD分析第32-34页
    3.3.2 多量子阱外延片AFM分析第34-38页
    3.3.6 多量子阱外延片PL分析第38页
  3.4 本章小结第38-41页
第四章 H_2/N_2混合气生长绿光InGaN/GaN多量子阱外延片的研究第41-51页
  4.1 引言第41-42页
  4.2 试验样品的制备第42页
  4.3 结果与分析第42-49页
    4.3.1 XRD分析第42-44页
    4.3.2 多量子阱外延片AFM分析第44-48页
    4.3.3 多量子阱外延片PL分析第48-49页
  4.4 本章小结第49-51页
第五章 结论与展望第51-53页
  5.1 结论第51页
  5.2 展望第51-53页
参考文献第53-65页
攻读硕士学位期间科研成果第65-67页
致谢第67页

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