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GaN和ZnO的自组织生长行为研究及其器件应用

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GaN和ZnO的自组织生长行为研究及其器件应用
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 绪论第10-18页
  1.1 自组织现象第10-11页
  1.2 晶体生长过程中的自组织行为第11-13页
    1.2.1 晶体生长的经典理论及其局限性第11-12页
    1.2.2 晶体自组织生长的系统学研究方法第12-13页
  1.3 GaN与ZnO晶体生长过程中的自组织行为第13-17页
    1.3.1 极性宽禁带半导体GaN与ZnO及其器件应用第13-14页
    1.3.2 异质外延GaN生长过程中的自组织行为第14-15页
    1.3.3 ZnO纳米线阵列的自组织生长行为第15-17页
  1.4 本论文的研究目标及主要内容第17-18页
第2章 异质外延GaN自组织行为的耗散结构研究第18-38页
  2.1 GaN的MOCVD生长实验第18页
  2.2 异质外延GaN满足耗散结构形成的四个必要条件第18-21页
  2.3 基于耗散结构理论的GaN表面坑的形成机理第21-35页
    2.3.1 表面坑形成机制的经典理论以及与实验的矛盾之处第21-23页
    2.3.2 局域平衡假设下表面坑的形成机制第23-25页
    2.3.3 极性面GaN表面坑的形成机理第25-29页
    2.3.4 非极性面GaN表面坑结构起源与经典理论的矛盾之处第29-32页
    2.3.5 非极性面GaN上的螺位错形成的表面坑第32-34页
    2.3.6 非极性面GaN上表面坑的形成机理第34-35页
  2.4 平衡的打破与新序的形成第35-36页
  2.5 本章小结第36-38页
第3章 ZnO纳米线自组织行为的协同学研究及器件应用第38-70页
  3.1 ZnO纳米线的水热生长实验第38-44页
    3.1.1 溅射功率第38-40页
    3.1.2 气压第40-41页
    3.1.3 退火第41-44页
  3.2 纳米线的竞争现象及协同论的提出第44-60页
    3.2.1 涨落和非线性第45-51页
    3.2.2 竞争和合作第51-57页
    3.2.3 竞争和非平衡第57-60页
  3.3 横向纳米线生长的协同效应第60-62页
  3.4 可定制增益的T型ZnO纳米线阵列紫外探测器第62-67页
    3.4.1 电极的设计第63-64页
    3.4.2 种子层厚度第64-65页
    3.4.3 可定制增益方案的提出第65-67页
  3.5 本章小结第67-70页
第4章 GaN基衬底上无种子层ZnO纳米线的生长及其器件应用第70-84页
  4.1 a面非极性GaN衬底第70-72页
  4.2 c面非极性GaN衬底第72页
  4.3 (11-22)半极性面GaN衬底第72-74页
  4.4 Al_xGa_(1-x)N衬底上的ZnO纳米线第74-77页
  4.5 影响在GaN衬底上无种子层生长ZnO纳米线阵列的因素第77-80页
    4.5.1 极性第78-79页
    4.5.2 缺陷成核第79页
    4.5.3 表面起伏第79-80页
  4.6 HEMT-UV探测器结构第80-81页
  4.7 本章小结第81-84页
结论第84-86页
参考文献第86-94页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第94-96页
致谢第96页

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