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GaN HEMT器件测试与仿真研究
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GaN HEMT器件测试与仿真研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-9页
第1章 绪论
第9-17页
1.1. GaN材料特性和GaN HEMT器件的优势与应用
第9-10页
1.2. GaN HEMT器件与其可靠性问题研究进展
第10-16页
1.3. 本论文主要研究内容
第16-17页
第2章 GaN HEMT器件的工作原理及可靠性相关概念
第17-23页
2.1. 极化效应
第17-18页
2.2. GaN HEMT的基本结构及工作原理
第18-19页
2.3. 结温和热阻概念及其测试方法
第19-21页
2.4. 半导体器件的失效模式机理概述
第21-22页
2.5. 本章小结
第22-23页
第3章 GaN HEMT器件的热特性测试
第23-37页
3.1. GaN HEMT器件的防自激电路设计
第23-24页
3.1.1. 防自激电路设计原理
第23-24页
3.1.2. 电路版画图和搭建
第24页
3.2. GaN HEMT器件的变温特性测试
第24-30页
3.2.1. 温度对输出特性的影响
第25-26页
3.2.2. 温度对栅泄漏特性的影响
第26-29页
3.2.3. 温度对源、漏串联电阻的影响
第29-30页
3.3. 电学法与红外法热阻测试
第30-35页
3.3.1. 测试电流对热阻影响
第31-32页
3.3.2. 热阻与工作电压关系研究
第32-33页
3.3.3. 红外热成像测试
第33-35页
3.4. 本章小结
第35-37页
第4章 GaN HEMT器件的缺陷相关的仿真研究
第37-49页
4.1. Silvaco-ATLAS仿真平台
第37-38页
4.2. GaN HEMT基本特性仿真
第38-40页
4.2.1. 器件模型搭建
第38-39页
4.2.2. Al组分对 2DEG的影响
第39-40页
4.3. GaN基HEMT器件的热特性仿真
第40-42页
4.3.1. 自热效应
第40-41页
4.3.2. 热分布
第41-42页
4.4. GaN HEMT器件的缺陷问题相关仿真
第42-47页
4.4.1. 缺陷位置对输出特性的影响
第42-43页
4.4.2. 缺陷浓度对输出特性的影响
第43-44页
4.4.3. 缺陷能级对输出特性的影响
第44页
4.4.4. 改善器件中缺陷相关问题的措施
第44-47页
4.5. 本章小节
第47-49页
第5章 GaN HEMT器件的失效分析
第49-55页
5.1. 失效分析方法
第49-50页
5.2. 失效分析案例
第50-54页
5.2.1. 电学测试初步分析
第50-51页
5.2.2. 失效点定位
第51-53页
5.2.3. 失效机理的确定
第53页
5.2.4. 改进措施
第53-54页
5.3. 本章小结
第54-55页
结论
第55-57页
参考文献
第57-61页
攻读学位期间发表的学术论文
第61-63页
致谢
第63页
本篇论文共
63
页,
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。
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