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GaN HEMT器件测试与仿真研究

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GaN HEMT器件测试与仿真研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-17页
    1.1. GaN材料特性和GaN HEMT器件的优势与应用第9-10页
    1.2. GaN HEMT器件与其可靠性问题研究进展第10-16页
    1.3. 本论文主要研究内容第16-17页
第2章 GaN HEMT器件的工作原理及可靠性相关概念第17-23页
    2.1. 极化效应第17-18页
    2.2. GaN HEMT的基本结构及工作原理第18-19页
    2.3. 结温和热阻概念及其测试方法第19-21页
    2.4. 半导体器件的失效模式机理概述第21-22页
    2.5. 本章小结第22-23页
第3章 GaN HEMT器件的热特性测试第23-37页
    3.1. GaN HEMT器件的防自激电路设计第23-24页
      3.1.1. 防自激电路设计原理第23-24页
      3.1.2. 电路版画图和搭建第24页
    3.2. GaN HEMT器件的变温特性测试第24-30页
      3.2.1. 温度对输出特性的影响第25-26页
      3.2.2. 温度对栅泄漏特性的影响第26-29页
      3.2.3. 温度对源、漏串联电阻的影响第29-30页
    3.3. 电学法与红外法热阻测试第30-35页
      3.3.1. 测试电流对热阻影响第31-32页
      3.3.2. 热阻与工作电压关系研究第32-33页
      3.3.3. 红外热成像测试第33-35页
    3.4. 本章小结第35-37页
第4章 GaN HEMT器件的缺陷相关的仿真研究第37-49页
    4.1. Silvaco-ATLAS仿真平台第37-38页
    4.2. GaN HEMT基本特性仿真第38-40页
      4.2.1. 器件模型搭建第38-39页
      4.2.2. Al组分对 2DEG的影响第39-40页
    4.3. GaN基HEMT器件的热特性仿真第40-42页
      4.3.1. 自热效应第40-41页
      4.3.2. 热分布第41-42页
    4.4. GaN HEMT器件的缺陷问题相关仿真第42-47页
      4.4.1. 缺陷位置对输出特性的影响第42-43页
      4.4.2. 缺陷浓度对输出特性的影响第43-44页
      4.4.3. 缺陷能级对输出特性的影响第44页
      4.4.4. 改善器件中缺陷相关问题的措施第44-47页
    4.5. 本章小节第47-49页
第5章 GaN HEMT器件的失效分析第49-55页
    5.1. 失效分析方法第49-50页
    5.2. 失效分析案例第50-54页
      5.2.1. 电学测试初步分析第50-51页
      5.2.2. 失效点定位第51-53页
      5.2.3. 失效机理的确定第53页
      5.2.4. 改进措施第53-54页
    5.3. 本章小结第54-55页
结论第55-57页
参考文献第57-61页
攻读学位期间发表的学术论文第61-63页
致谢第63页

本篇论文共63页,点击这进入下载页面
 
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