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硅基微结构半导体中子探测器的工艺研究

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硅基微结构半导体中子探测器的工艺研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-21页
  1.1 中子探测器概述第9-14页
    1.1.1 中子的探测方法第9-12页
    1.1.2 中子探测器的分类第12-14页
  1.2 研究意义及发展现状第14-18页
    1.2.1 国外研究现状第14-18页
    1.2.2 国内研究现状第18页
  1.3 研究内容和论文安排第18-21页
第2章 硅基微结构半导体中子探测器第21-29页
  2.1 硅基微结构半导体中子探测器第21-23页
    2.1.1 工作原理第21-22页
    2.1.2 中子转化层的选择第22-23页
  2.2 性能参数第23-27页
    2.2.1 电流电压特性第23-24页
    2.2.2 电容电压特性第24页
    2.2.3 噪声和温度特性第24-25页
    2.2.4 灵敏区面积和窗厚度第25-26页
    2.2.5 输出脉冲幅度第26页
    2.2.6 能量分辨和法诺因子第26页
    2.2.7 探测效率第26-27页
本章小结第27-29页
第3章 微结构中子探测器的设计及制备第29-45页
  3.1 工艺流程与工艺研究第29-39页
    3.1.1 工艺流程第29-35页
    3.1.2 工艺研究第35-39页
  3.2 器件的封装及测试第39-40页
  3.3 结果分析第40-43页
    3.3.1 湿法腐蚀制备微结构第41页
    3.3.2 侧壁的钝化和扩散第41-42页
    3.3.3 保护环结构第42-43页
本章小结第43-45页
第4章 微结构中子探测器工艺的优化第45-63页
  4.1 硅的湿法腐蚀第45-53页
    4.1.1 晶体结构第45-47页
    4.1.2 腐蚀机理及腐蚀液的介绍第47-49页
    4.1.3 微结构的制备第49-50页
    4.1.4 实验分析第50-53页
  4.2 扩散工艺与钝化工艺的模拟仿真第53-56页
    4.2.1 Silvaco模拟软件的介绍第53页
    4.2.2 模型的建立第53-54页
    4.2.3 模拟结果进行分析第54-56页
  4.3 保护环结构的研究第56-59页
    4.3.1 保护环结构的制备第56-58页
    4.3.2 测试及分析第58-59页
  4.4 优化后的工艺流程第59-61页
本章小结第61-63页
结论第63-65页
参考文献第65-69页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第69-71页
致谢第71页

本篇论文共71页,点击这进入下载页面
 
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