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基于自动聚焦技术的探针台Z向距离测量系统

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基于自动聚焦技术的探针台Z向距离测量系统
论文目录
 
致谢第1-6页
摘要第6-7页
Abstract第7-12页
  1. 绪论第12-21页
  1.1 课题背景第12-13页
  1.2 探针台用途及发展概况第13-15页
    1.2.1 探针台用途第13-14页
    1.2.2 探针台发展概况第14-15页
  1.3 国内外研究现状第15-19页
    1.3.1 自动聚焦技术研究现状第16-17页
    1.3.2 探针台Z向距离测量技术研究现状第17-19页
  1.4 本文主要研究内容及结构框架第19-21页
    1.4.1 论文研究内容第19页
    1.4.2 本文框架第19-21页
  2. 探针台Z向距离测量系统设计第21-37页
  2.1 引言第21页
  2.2 探针台Z向距离测量系统总体设计第21-28页
    2.2.1 探针台系统结构及组成元件第21-25页
    2.2.2 探针台Z向距离测量原理第25-27页
    2.2.3 探针台Z向距离测量系统架构设计第27-28页
  2.3 视觉模块设计及选型第28-32页
    2.3.1 视觉模块设计第28-30页
    2.3.2 视觉模块选型第30-32页
  2.4 光源模块设计第32-34页
  2.5 运动控制模块设计第34-36页
    2.5.1 运动控制卡第35页
    2.5.2 步进电机及伺服驱动器第35-36页
  2.6 本章小结第36-37页
  3. 自动聚焦清晰度评价算法及其实现第37-48页
  3.1 引言第37-38页
  3.2 自动聚焦技术分析第38-41页
    3.2.1 自动聚焦技术基本原理第38-40页
    3.2.2 聚焦清晰度评价曲线分析第40-41页
  3.3 改进时域法图像清晰度评价函数第41-45页
    3.3.1 典型图像清晰度评价函数第41-43页
    3.3.2 改进时域法图像清晰度评价函数第43-45页
  3.4 实验对比分析第45-47页
  3.5 本章小结第47-48页
  4. 融合窗口选择与极值点搜索的自动聚焦加速算法第48-67页
  4.1 引言第48页
  4.2 典型聚焦窗口选择算法第48-53页
    4.2.1 聚焦窗口选择原则第48-51页
    4.2.2 典型聚焦窗口选择算法第51-53页
  4.3 基于灰度直方图的聚焦窗口选择算法第53-55页
    4.4. 一种改进的极值点搜索算法第55-63页
    4.4.1 典型极值点搜索算法第55-58页
    4.4.2 传统极值点搜索算法存在的问题第58-61页
    4.4.3 改进的爬山算法与曲线拟合相结合第61-63页
  4.5 自动聚集加速算法仿真实验分析第63-66页
    4.5.1 聚焦窗口选择仿真实验分祈第63-65页
    4.5.2 极值点搜索仿真实验分析第65-66页
  4.6 本章小结第66-67页
  5. 探针台Z向距离测量系统实现第67-76页
  5.1 引言第67页
  5.2 视觉系统像素标定第67-71页
    5.2.1 传统像素标定第68-70页
    5.2.2 主动视觉像素标定第70-71页
  5.3 测量系统软硬件平台搭建第71-72页
    5.3.1 测量系统硬件平台搭建第71页
    5.3.2 测量系统软件平台搭建第71-72页
  5.4 探针台视觉系统标定实验第72-74页
  5.5 基于自动聚焦的探针台Z向测距实验第74-75页
  5.6 本章小结第75-76页
  6. 总结与展望第76-78页
  6.1 全文总结第76-77页
  6.2 工作展望第77-78页
参考文献第78-81页

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