基于DSL的浸没式光刻机浸没系统状态控制的设计与实现

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基于DSL的浸没式光刻机浸没系统状态控制的设计与实现

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基于DSL的浸没式光刻机浸没系统状态控制的设计与实现

论文目录
致谢	第1-5页
摘要	第5-6页
Abstract	第6-10页
第1章绪论	第10-26页
1.1 研究背景及意义	第10-13页
1.1.1 光刻技术原理及发展现状	第10-11页
1.1.2 浸没光刻技术概述	第11-13页
1.2 浸没分系统组成及基本原理	第13-22页
1.2.1 PWS水传输系统	第13-15页
1.2.2 HCWS注液系统	第15-16页
1.2.3 CAS注气系统	第16-17页
1.2.4 HAWE气液回收单元	第17-19页
1.2.5 TCM温控模块	第19-20页
1.2.6 浸没分系统整体方案	第20-22页
1.3 课题研究内容	第22-25页
1.4 本章小结	第25-26页
第2章 MCM控制系统硬件平台设计	第26-33页
2.1 浸没系统逻辑架构	第26-27页
2.2 MCM控制系统关键硬件选型	第27-30页
2.2.1 可编程控制器分析与选型	第27-29页
2.2.2 工控机分析与选型	第29页
2.2.3 交换机分析与选型	第29-30页
2.3 浸没系统总控端硬件平台	第30-32页
2.3.1 浸没系统总控台	第30-31页
2.3.2 浸没分系统控制架	第31-32页
2.4 本章小结	第32-33页
第3章基于DSL的MCM控制系统软件分析与设计	第33-54页
3.1 浸没系统控制模块分布	第33-34页
3.2 浸没系统业务逻辑模型建立	第34-46页
3.2.1 浸没系统状态流程分析	第34-42页
3.2.2 浸没系统状态机模型建立	第42-44页
3.2.3 逻辑控制UML时序图分析	第44-46页
3.3 浸没系统通讯机制	第46-52页
3.3.1 通讯组网及方案设计	第46-49页
3.3.2 通讯协议及消息调度	第49-50页
3.3.3 网络心跳检测	第50-52页
3.4 本章小结	第52-54页
第4章基于DSL的状态控制语言设计	第54-69页
4.1 浸没系统关联性说明	第54-56页
4.2 浸没系统数据交互DSL设计	第56-62页
4.2.1 系统数据交互分析	第56-57页
4.2.2 系统数据XML语言配制	第57-60页
4.2.3 系统数据XML读写存储	第60-62页
4.3 浸没系统控制流程DSL设计	第62-68页
4.3.1 逻辑控制XML语言配制	第62-63页
4.3.2 逻辑控制DSL语言定制	第63-65页
4.3.3 DSL词法语法分析	第65-67页
4.3.4 语义模型组装	第67-68页
4.4 本章小结	第68-69页
第5章基于DSL的MCM控制系统运行和测试	第69-79页
5.1 下位机模式选择	第69-70页
5.2 局域网连接	第70-71页
5.3 人机交互界面	第71-74页
5.4 日志信息	第74-75页
5.5 网站数据查询	第75-78页
5.6 本章小结	第78-79页
第6章总结和展望	第79-81页
6.1 总结	第79-80页
6.2 展望	第80-81页
参考文献	第81-85页

本篇论文共85页，点击这进入下载页面。

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