透明导电膜ZGO的研究及其在硅基薄膜太阳电池中的应用

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透明导电膜ZGO的研究及其在硅基薄膜太阳电池中的应用

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透明导电膜ZGO的研究及其在硅基薄膜太阳电池中的应用

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第一章引言	第9-19页
· 薄膜太阳电池	第9-12页
· 薄膜太阳能电池的基础	第9-10页
· 薄膜太阳电池的发展及现状	第10-12页
· 透明导电膜	第12-15页
· 透明导电膜的种类及特性	第12-15页
· 镓掺杂氧化锌薄膜（ZGO）	第15-18页
· ZGO 薄膜的材料结构	第15-17页
· ZGO 薄膜的电学性质	第17-18页
· ZGO薄膜的光学性质	第18页
· 本论文主要研究内容	第18-19页
第二章实验设备与性能表征	第19-27页
· 实验设备	第19-22页
· 等离子增强化学气相沉积（RF - PECVD 法）	第20-21页
· 孪生对靶直流磁控溅射	第21-22页
· 薄膜性能的表征	第22-27页
· 薄膜厚度	第22页
· 薄膜透过率	第22-23页
· 霍尔迁移率、载流子浓度和电阻率	第23-24页
· X - ray 衍射（XRD ）	第24页
· 扫描电镜（SEM）	第24-25页
· 薄膜太阳电池光电转换效率	第25-27页
第三章薄膜的制备	第27-34页
· ZGO 薄膜的制备	第27-31页
· 正交设计试验	第27-29页
· ZGO薄膜的沉积机理	第29-30页
· 实验材料及步骤	第30-31页
· 非晶硅薄膜太阳电池的制备	第31-34页
· 非晶硅薄膜太阳电池的沉积机理	第31-33页
· 实验条件及步骤	第33-34页
第四章 ZGO 薄膜性能的研究	第34-54页
· 工艺参数对ZGO 膜性能的影响	第34-43页
· 溅射厚度对ZGO 薄膜性能的影响	第34-37页
· 工作电流对ZGO 薄膜性能的影响	第37-40页
· 工作压强对ZGO 薄膜性能的影响	第40-43页
· 热处理对ZGO 薄膜性能的影响	第43-49页
· 退火机理	第43-45页
· 不同退火氛围对其性能的影响	第45-46页
· 不同退火温度对其性能的影响	第46-49页
· ZGO 薄膜在非晶硅薄膜电池中的应用	第49-54页
· 热处理的ZGO 薄膜在非晶硅电池中的应用	第49-50页
· 不同厚度的ZGO 薄膜对柔性非晶硅薄膜电池性能的影响	第50-54页
第五章结论	第54-55页
参考文献	第55-58页
攻读学位期间所取得的相关科研成果	第58-59页
致谢	第59 页

本篇论文共59页，点击这进入下载页面。

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