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快速热纳米压印和固体表面双疏性能研究
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快速热纳米压印和固体表面双疏性能研究
论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 绪论第12-28页
　　1.1 微纳加工技术第12-18页
　　　　1.1.1 光刻技术第12-14页
　　　　1.1.2 纳米压印技术第14-15页
　　　　1.1.3 刻蚀技术第15-17页
　　　　1.1.4 薄膜沉积技术第17-18页
　　1.2 固体表面超疏水-超疏油性能第18-26页
　　　　1.2.1 超疏水-超疏油表面研究背景第18-20页
　　　　1.2.2 固体表面张力与表面自由能第20-21页
　　　　1.2.3 固体表面接触角模型第21-24页
　　　　1.2.4 固体表面悬垂结构第24-26页
　　1.3 论文研究的目的和主要内容第26-28页
第二章 电磁感应加热快速热纳米压印设备第28-40页
　　2.1 引言第28-29页
　　2.2 电磁感应加热式纳米压印装置的设计第29-32页
　　　　2.2.1 电磁感应加热式纳米压印装置第29-30页
　　　　2.2.2 电磁感应加热原理第30-31页
　　　　2.2.3 高频谐振线圈盘的设计第31-32页
　　2.3 镍模板的制备第32-35页
　　2.4 电磁感应加热式纳米压印装置性能测试第35-38页
　　　　2.4.1 压印温度和压力的影响第35-36页
　　　　2.4.2 装置加热和冷却效率测试第36页
　　　　2.4.3 装置加热均匀性测试第36-38页
　　2.5 快速热纳米压印结果第38-39页
　　2.6 本章小结第39-40页
第三章 玻璃表面纳米结构制备与双疏性能研究第40-58页
　　3.1 引言第40页
　　3.2 实验部分第40-48页
　　　　3.2.1 实验原材料与仪器第40-42页
　　　　3.2.2 玻璃表面纳米结构制备流程第42-48页
　　　　　　3.2.2.1 紫外压印和金属掩膜的制备第45页
　　　　　　3.2.2.2 玻璃和二氧化硅层刻蚀第45-46页
　　　　　　3.2.2.3 蒸镀帽子结构第46-47页
　　　　　　3.2.2.4 生长防粘层第47-48页
　　　　3.2.3 接触角测试第48页
　　3.3 实验结果与讨论第48-57页
　　　　3.3.1 蒸镀法形成的悬垂结构第48-53页
　　　　　　3.3.1.1 刻蚀时间对于形貌的影响第48-49页
　　　　　　3.3.1.2 刻蚀功率对于形貌的影响第49-51页
　　　　　　3.3.1.3 孔阵结构深宽比对于疏水/疏油性能的影响第51-52页
　　　　　　3.3.1.4 帽子结构对于疏水/疏油性能的影响第52-53页
　　　　3.3.2 二次刻蚀法得到的悬垂结构第53-55页
　　　　3.3.3 二氧化硅层中的悬垂结构第55-57页
　　3.4 本章小结第57-58页
第四章 总结与展望第58-60页
参考文献第60-68页
攻读硕士学位期间论文发表第68-70页
致谢第70-72页

本篇论文共72页，点击这进入下载页面。
 
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