载入中...
硅烷流态化法CVD过程及壁面沉积控制的数值模拟
硕士博士毕业论文站内搜索
全站论文库
硕士博士论文库
普通期刊论文库
分类:
教育论文网
→工业技术论文→
化学工业论文
→
非金属元素及其无机化合物化学工业论文
→
第Ⅳ族非金属元素及其无机化合物论文
→
硅及其无机化合物论文
硅烷流态化法CVD过程及壁面沉积控制的数值模拟
论文目录
摘要
第1-5页
abstract
第5-10页
符号说明
第10-13页
前言
第13-15页
1 综述
第15-41页
1.1 多晶硅的形成与用途
第15页
1.2 多晶硅产业发展
第15-19页
1.2.1 国际多晶硅产业发展
第15-17页
1.2.2 国内多晶硅产业发展
第17-19页
1.2.3 多晶硅产业发展趋势
第19页
1.3 硅烷流化床法制备多晶硅工艺
第19-26页
1.3.1 工艺发展
第19-20页
1.3.2 硅烷流化床法
第20-22页
1.3.3 技术挑战
第22-23页
1.3.3.1 粉尘生成
第22页
1.3.3.2 壁面沉积
第22页
1.3.3.3 温度控制
第22-23页
1.3.3.4 其他
第23页
1.3.4 控制壁面沉积的方法
第23-26页
1.3.4.1 改变加热方式
第23-24页
1.3.4.2 流化床结构设计
第24-25页
1.3.4.3 壁面清洗
第25-26页
1.4 硅烷流化床法法制备多晶硅研究进展
第26-32页
1.4.1 机理研究
第26-28页
1.4.1.1 反应机理
第26-27页
1.4.1.2 沉积机理
第27-28页
1.4.2 动力学研究
第28-29页
1.4.2.1 均相反应动力学模型
第28-29页
1.4.2.2 非均相反应动力学模型
第29页
1.4.3 模拟研究
第29-32页
1.4.4 实验研究
第32页
1.5 流态化基本理论
第32-38页
1.5.1 流态化
第33页
1.5.2 颗粒分类
第33-34页
1.5.3 基本流化参数
第34-35页
1.5.4 气固两相流系统的数值模拟
第35-38页
1.5.4.1 基本模型
第35-37页
1.5.4.2 数值模拟软件
第37-38页
1.6 课题研究目的和主要内容
第38-41页
1.6.1 研究目的
第38-39页
1.6.2 研究思路
第39-40页
1.6.3 研究内容
第40-41页
2 TFM-KTGF模型的基本方程与实现方法
第41-55页
2.1 基本方程
第41-46页
2.1.1 守恒方程
第41-42页
2.1.2 颗粒动力学理论
第42-44页
2.1.3 曳力模型
第44-45页
2.1.4 湍流封闭模型
第45页
2.1.5 气固传热模型
第45-46页
2.2 实现方法
第46-51页
2.2.1 有限差分法
第46-47页
2.2.2 有限元法
第47页
2.2.3 边界元法
第47页
2.2.4 有限体积法
第47-48页
2.2.5 CFD软件的计算方法
第48-51页
2.3 计算过程
第51-53页
2.3.1 近壁面区域计算方法
第51页
2.3.2 CFD运算流程及UDF循环宏
第51-53页
2.4 本章小结
第53-55页
3 流态化CVD过程的数值模拟
第55-69页
3.1 流化床二维几何模型的建立
第55-59页
3.1.1 几何模型与网格划分
第55-57页
3.1.2 网格无关性验证
第57-59页
3.2 计算条件
第59-60页
3.2.1 时间步长的设定
第59页
3.2.2 松弛因子的选择
第59-60页
3.3 硅烷热解反应模型
第60-62页
3.4 硅烷CVD反应数值模拟
第62-67页
3.4.1 几何模型
第62-63页
3.4.2 模型设置与初始条件
第63-64页
3.4.3 结果与讨论
第64-67页
3.4.3.1 气固流动行为
第64-65页
3.4.3.2 硅颗粒生长率
第65-66页
3.4.3.3 与Hsu实验结果比较
第66-67页
3.5 本章小结
第67-69页
4 多晶硅在反应器壁面沉积的控制
第69-89页
4.1 壁面沉积机理
第69-71页
4.2 气体分布器构思
第71-72页
4.3 流化床几何模型
第72-73页
4.4 模拟条件
第73-74页
4.5 操作条件对气固流动特性影响
第74-80页
4.5.1 床内硅烷浓度径向分布
第74-76页
4.5.2 床内颗粒瞬时体积分数
第76-78页
4.5.3 床内氢气浓度分布
第78-80页
4.6 操作条件对多晶硅CVD过程影响
第80-87页
4.6.1 In2 SiH_4进气浓度对多晶硅沉积的影响
第80-82页
4.6.2 In2初始表观气速对多晶硅沉积的影响
第82-84页
4.6.3 In1 SiH_4进气浓度对多晶硅沉积的影响
第84-85页
4.6.4 初始床层高度对多晶硅沉积的影响
第85-87页
4.7 本章小结
第87-89页
5 总结与展望
第89-91页
5.1 主要内容与结论
第89-90页
5.2 论文创新点
第90页
5.3 论文展望
第90-91页
参考文献
第91-97页
致谢
第97-99页
攻读学位期间发表的学术论文目录
第99-100页
本篇论文共
100
页,
点击这进入下载页面
。
更多论文
硅烷流态化法CVD过程及壁面沉积控制
基于LSTM和动态模型的化工过程混合
丙烯酰胺在醇/水介质中的RAFT分散聚
新型咪唑类亲水作用色谱固定相的制
氨基酸类离子液体催化环酮Baeyer-V
g-C
3
N
4
光催
短碳链烷基溴化铵的合成
耐水强酸功能类离子液体设计及催化
新型SSZ-13分子筛催化剂的制备及其
固相法制备氯化聚乙烯的工艺研究
具有生物相容性的自修复聚氨酯的制
利巴韦林新合成工艺研究
电石法乙炔气清净工艺研究
水滑石的控制合成、改性及其吸附性
非稳态体系合成聚丙烯酰胺
PI单体二胺化合物的合成及工艺研究
正丁醇—异丁醇—水体系分离技术的
整胎连续化微波裂解装置的设计与实
大型非对称橡胶制品注射成型冷流道
硅丙相容剂的制备及应用研究
新型超高交联树脂的制备及其对硝基
烃类物系复杂塔精馏分离流程的动态
新型有机硅橡胶的制备与性能研究
SIS的壁滑及其填充体系的粘弹特性研
环氧丙烯酸酯无皂核壳乳液的合成与
氧化石墨烯—酞菁铜复合材料的制备
玉米淀粉多糖铁100L中试工艺研究
中心X交叉D-A型有机荧光分子的设计
聚酰胺类材料化学解聚反应研究
反应精馏合成醋酸戊酯的工艺优化与
三嗪成炭剂的制备及其阻燃性能研究
脂肪族聚碳酸酯合成的工艺研究
改性聚苯乙烯树脂制备及吸附/氧化去
分离丙二醇甲基醚与水共沸物的过程
四鼓橡胶硫化机主机的设计及有限元
弹簧气孔套结构性能分析的研究
橡胶碎胶机的结构设计及关键部件的
脱硫石膏改性固体胺复合材料吸附烟
微—介孔分子筛催化裂解木质素制备
智能化多工位配料称量机械系统的设
基于动态可逆共价键与非共价键结合
本征荧光光谱研究橡胶材料的硫化过
玉米秸秆Na
2
CO
3
橡胶材料拉伸性能的分子动力学模拟
酰亚胺基羧酸盐表面活性剂的合成及
耐高温EPDM配合体系及动态流变性能
新型复合吸附剂性能研究及其在吸附
多糖铁及胶囊杂质研究
纤维素溶致胆甾相液晶行为及其复合
新型纳米金磁复合微粒的制备及在重
硅碳纳米/聚异戊二烯复合材料制备及
聚苯胺/碳材料导电复合材料的制备与
TiO
2
/层状类石墨烯复合
纳米TiO
2
的改性制备及其
TiO
2
基复合材料的制备及
超临界技术制备基于直接剥离石墨烯
炼油精馏过程模拟研究
烷基化油生产工艺研究与开发
原油及成品油指纹特征研究及应用
双核酸性离子液体在油品脱氮中的应
衣康酸类自乳化聚酯的合成及性能研
麦秆水热预处理工艺优化及糖液提纯
南极真菌产褐藻胶裂解酶Aly-i7的基
表达hGRN A的酵母菌SMD1168H发酵优
β-葡萄糖苷酶的制备及橙花醇糖苷的
硬脂酸型聚氨酯涂料的合成及性能研
赤泥催化煤焦-H
2
O气化反
RAFT在St/IA无皂乳液聚合中的应用研
麦麸蛋白开发生物活性肽及综合利用
自动台球机机电系统的研究
有机硅改性衣康酸酯基聚氨酯乳液的
高速精雕产品工艺设计及加工技术研
基于BP神经网络的电解加工阴极工具
基于磁控形状记忆合金的高耸化工塔
8000系铝合金组织控制及工艺优化研
深海环境下铝基块体复合防护材料的
新型石墨烯基防腐材料的制备及电化
基于UG二次开发的高速精雕加工工艺
生物质秸秆填充废旧聚丙烯制备复合
基于芳纶纤维及其改性体阻燃热塑性
气凝胶复合材料的制备以及性能研究
改性TiO
2
纳米管阵列光阳
球磨法制备石墨烯/甲壳素纳米纤维杂
基于齿轮泵的短纤维增强橡胶复合材
聚乳酸/导电粒子复合材料的制备及温
金纳米棒—银核壳型(AuNR@Ag)纳米
丁腈橡胶/石墨烯/炭黑复合体系的结
离子液体改性碳纳米管制备碳纳米管
海岛基础设施物质存量及其CO
2
化学淋洗法修复工业场地铬污染土壤
煤气化废水酚氨回收工艺流程的分析
几种微藻对水体酸化的生理响应
二次铝灰回收氧化铝的工艺研究
聚四氟乙烯基定向孔道材料的制备及
多性态废弃物分级混合回转焚烧的理
“反浮选—冷结晶”提钾工艺中浮选
三维电极反应器去除废水中氯酚有机
CO
2
和NH
3
在
基于洗涤精馏的荒煤气余热回收系统
硅烷
流化床论文
数值模拟论文
气相沉积论文
版权申明
:目录由用户
bobo1**
提供,
www.51papers.com
仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录
请点击这里
。
|
设为首页
||
加入收藏
||
站内搜索引擎
||
站点地图
||
在线购卡
|
版权所有
教育论文网
Copyright(C) All Rights Reserved