超声流体喷射抛光振子及应用研究

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超声流体喷射抛光振子及应用研究

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超声流体喷射抛光振子及应用研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-18页
· 引言	第8-9页
· 射流抛光技术的概述	第9-12页
· 射流抛光的定义和特点	第9-10页
· 液体喷射抛光的研究现状	第10-12页
· 液体喷射抛光技术的应用前景	第12页
· 化学机械抛光技术的研究概况	第12-14页
· 化学机械抛光技术的背景及研究现状	第12-13页
· 硅片的加工技术	第13-14页
· 超声技术的研究现状	第14-17页
· 超声技术的原理及特点	第14-15页
· 超声技术在化学机械抛光中的应用	第15-16页
· 超声雾化的原理及应用	第16-17页
· 本课题的选题意义及主要研究内容	第17-18页
2 超声流体喷射抛光技术的理论基础	第18-29页
· 射流理论	第18-22页
· 均匀薄板的自由振动方程	第22-25页
· 压电方程	第25-28页
· 本章小结	第28-29页
3 超声压电振子的有限元模拟及模态测试	第29-36页
· 压电振子的密封结构	第29-30页
· 压电振子的有限元分析	第30-32页
· 超声压电振子的实验测试	第32-35页
· 本章小结	第35-36页
4 超声流体喷射抛光实验研究	第36-48页
· 超声流体喷射抛光实验装置的结构	第36-38页
· 实验原理	第36-37页
· 超声流体喷射抛光实验结构	第37-38页
· 实验系统参数的设定	第38-40页
· 超声流体喷射抛光实验	第40-46页
· 影响流体喷射抛光实验的因素	第40页
· 抛光后硅片 3D 表面形貌的测试方法	第40-41页
· 抛光时间对抛光效果的影响	第41-43页
· 硅片转速对抛光效果的影响	第43-46页
· 本章小结	第46-48页
5 含抛光垫的超声流体喷射抛光实验研究	第48-59页
· 含抛光垫的超声流体喷射抛光实验的原理分析	第48-49页
· 含抛光垫超声流体喷射抛光实验系统的设计	第49-54页
· 滑环在实验系统中的应用	第50-51页
· 实验系统结构的设计	第51-53页
· 实验过程中参数的设定	第53-54页
· 含抛光垫的超声流体喷射抛光实验	第54-55页
· 抛光实验过程	第54页
· 实验后硅片的清洗	第54-55页
· 实验结果测试分析	第55-58页
· 本章小结	第58-59页
6 结论	第59-60页
参考文献	第60-62页
攻读硕士期间发表学术论文情况	第62-63页
致谢	第63 页

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