六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真

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六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真

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六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-11页
第一章绪论	第11-26页
· 微加速度计概述	第11-12页
· 国内外研究的现状	第12-19页
· 国外的研究现状	第12-17页
· 国内的研究情况	第17-19页
· 静电悬浮微加速度计的关键技术分析	第19-24页
· 静电悬浮微加速度计的制作技术	第19-21页
· 静电悬浮微加速度计的微位移电容检测技术	第21-22页
· 静电悬浮微加速度计的设计仿真技术	第22-24页
· 本文的研究意义和主要研究内容	第24-25页
· 本章小结	第25-26页
第二章六轴静电悬浮微加速度计的结构及动力学原理	第26-37页
· 六轴静电悬浮微加速度计的结构	第26-29页
· 六轴加速度计的动力学原理	第29-36页
· 坐标系	第29-31页
· 六自由度加速度计的动态特性	第31-35页
· 线性运动的动态方程	第33-34页
· 角运动的动态方程	第34-35页
· 六自由度加速度计动态方程分析	第35-36页
· 本章小结	第36-37页
第三章六轴静电悬浮微加速度计的阻尼分析与优化	第37-48页
· 阻尼模型	第37-39页
· 空气压膜阻尼	第38-39页
· 空气滑膜阻尼	第39页
· 静电悬浮微加速度计阻尼分析	第39-43页
· 理论分析	第40-42页
· 有限元分析	第42-43页
· 阻尼孔的设计	第43-47页
· 本章小结	第47-48页
第四章六轴静电悬浮微加速度计的电容与静电力模型	第48-68页
· 电容模型分析	第48-52页
· 悬浮质量块的虚地电位分析	第48-50页
· 微加速度计多导体系统的电荷分布仿真	第50-52页
· 电极电容的计算公式	第52-59页
· 电极电容求解	第52-59页
· 轴向平动电容模型	第52-55页
· 侧向平动电容模型	第55-57页
· 轴向转动电容模型	第57-58页
· 侧向转动电容模型	第58-59页
· 静电力/力矩的计算公式	第59-64页
· 轴向平动静电力模型	第59-61页
· 侧向平动静电力模型	第61-62页
· 轴向转动静电力矩模型	第62-63页
· 侧向转动静电力矩模型	第63-64页
· 六轴静电悬浮加速度计的量程设计	第64-66页
· 本章小结	第66-68页
第五章静电悬浮微加速度计的系统级建模仿真	第68-85页
· COVENTORWARE 软件的建模方法	第68-70页
· 静电悬浮微加速度计的工艺级和物理级建模	第70-78页
· CoventorWare 工艺级建模介绍	第70-72页
· 微加速度计的工艺流程及建模	第72-77页
· 微加速度计的物理级模型	第77-78页
· 静电悬浮加速度计的器件级和系统级建模仿真	第78-84页
· 微加速度计的机电模型	第78-79页
· 微加速度计的系统级模型	第79-80页
· 微加速度计的起支控制仿真	第80-81页
· 微加速度计的稳定悬浮仿真	第81-83页
· 微加速度计的输入加速度响应仿真	第83-84页
· 本章小结	第84-85页
第六章总结与展望	第85-88页
· 全文总结	第85-86页
· 研究展望	第86-88页
参考文献	第88-94页
致谢	第94-95页
攻读硕士学位期间发表的论文和申请的专利	第95-97页

本篇论文共97页，点击这进入下载页面。

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