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基于温和等离子体技术的石墨烯层数精确控制及其性质研究

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基于温和等离子体技术的石墨烯层数精确控制及其性质研究
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 绪论第7-16页
  1.1 石墨烯的发现第7-8页
  1.2 石墨烯的性质及应用第8-11页
  1.3 石墨烯的制备方法第11-14页
    1.3.1 微机械剥离法第11页
    1.3.2 氧化还原法第11-12页
    1.3.3 热分解碳化硅法第12-13页
    1.3.4 化学气相沉积法第13-14页
  1.4 石墨烯层数控制的研究及挑战第14-15页
  1.5 论文主要内容及组织架构第15-16页
第二章 非平行板式电容耦合温和等离子体技术第16-23页
  2.1 引言第16页
  2.2 等离子体原理第16-19页
    2.2.1 等离子体的产生与形成第16-18页
    2.2.2 等离子体放电模式第18-19页
  2.3 非平行板式电容耦合等离子体第19-22页
    2.3.1 温和等离子体原理与系统第19-21页
    2.3.2 温和等离子体系统的先进性第21-22页
  2.4 本章小结第22-23页
第三章 温和等离子体及热退火对石墨烯的刻蚀研究第23-39页
  3.1 引言第23页
  3.2 实验流程第23-26页
    3.2.1 样品制备第23页
    3.2.2 等离子体刻蚀流程第23-25页
    3.2.3 热退火对石墨烯的影响第25-26页
  3.3 石墨烯层数的判断方法第26-30页
    3.3.1 光学显微镜第26-27页
    3.3.2 拉曼光谱第27-29页
    3.3.3 原子力显微镜第29-30页
  3.4 实验参数对刻蚀效果的影响第30-34页
    3.4.1 先驱气体第30-31页
    3.4.2 温度第31页
    3.4.3 等离子体功率密度第31-32页
    3.4.4 刻蚀时间第32-34页
  3.5 实验机理第34-38页
    3.5.1 等离子体刻蚀机理第34-36页
    3.5.2 热退火机理第36-38页
  3.6 本章小结第38-39页
第四章 石墨烯层数精确控制与表征第39-46页
  4.1 引言第39页
  4.2 快速模式刻蚀第39-40页
  4.3 精细模式刻蚀第40-42页
  4.4 基于精细模式刻蚀的石墨烯逐层刻蚀第42-45页
  4.5 本章小结第45-46页
第五章 总结与展望第46-48页
  5.1 总结第46页
  5.2 展望第46-48页
致谢第48-49页
参考文献第49-53页
附录: 作者在攻读硕士学位期间发表的论文第53页

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