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基于温和等离子体技术的石墨烯层数精确控制及其性质研究
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基于温和等离子体技术的石墨烯层数精确控制及其性质研究
论文目录
摘要
第1-4页
Abstract
第4-7页
第一章 绪论
第7-16页
1.1 石墨烯的发现
第7-8页
1.2 石墨烯的性质及应用
第8-11页
1.3 石墨烯的制备方法
第11-14页
1.3.1 微机械剥离法
第11页
1.3.2 氧化还原法
第11-12页
1.3.3 热分解碳化硅法
第12-13页
1.3.4 化学气相沉积法
第13-14页
1.4 石墨烯层数控制的研究及挑战
第14-15页
1.5 论文主要内容及组织架构
第15-16页
第二章 非平行板式电容耦合温和等离子体技术
第16-23页
2.1 引言
第16页
2.2 等离子体原理
第16-19页
2.2.1 等离子体的产生与形成
第16-18页
2.2.2 等离子体放电模式
第18-19页
2.3 非平行板式电容耦合等离子体
第19-22页
2.3.1 温和等离子体原理与系统
第19-21页
2.3.2 温和等离子体系统的先进性
第21-22页
2.4 本章小结
第22-23页
第三章 温和等离子体及热退火对石墨烯的刻蚀研究
第23-39页
3.1 引言
第23页
3.2 实验流程
第23-26页
3.2.1 样品制备
第23页
3.2.2 等离子体刻蚀流程
第23-25页
3.2.3 热退火对石墨烯的影响
第25-26页
3.3 石墨烯层数的判断方法
第26-30页
3.3.1 光学显微镜
第26-27页
3.3.2 拉曼光谱
第27-29页
3.3.3 原子力显微镜
第29-30页
3.4 实验参数对刻蚀效果的影响
第30-34页
3.4.1 先驱气体
第30-31页
3.4.2 温度
第31页
3.4.3 等离子体功率密度
第31-32页
3.4.4 刻蚀时间
第32-34页
3.5 实验机理
第34-38页
3.5.1 等离子体刻蚀机理
第34-36页
3.5.2 热退火机理
第36-38页
3.6 本章小结
第38-39页
第四章 石墨烯层数精确控制与表征
第39-46页
4.1 引言
第39页
4.2 快速模式刻蚀
第39-40页
4.3 精细模式刻蚀
第40-42页
4.4 基于精细模式刻蚀的石墨烯逐层刻蚀
第42-45页
4.5 本章小结
第45-46页
第五章 总结与展望
第46-48页
5.1 总结
第46页
5.2 展望
第46-48页
致谢
第48-49页
参考文献
第49-53页
附录: 作者在攻读硕士学位期间发表的论文
第53页
本篇论文共
53
页,
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。
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