反射式样板刻线轮廓自动检测装置研究

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反射式样板刻线轮廓自动检测装置研究

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反射式样板刻线轮廓自动检测装置研究

论文目录
致谢	第1-6页
摘要	第6-7页
Abstract	第7-14页
1 绪论	第14-20页
· 研究的背景及意义	第14-15页
· 国内外研究现状	第15-18页
· 高精度尺寸测量国内外研究现状	第15-17页
· 微观表面形貌测量技术的发展状况	第17-18页
· 本文的研究目标和主要内容	第18-20页
2 实验系统的硬件搭建及工作原理	第20-36页
· 激光自调焦传感器的工作原理	第20-23页
· 图像对焦原理	第23-25页
· 图像调焦评价算法综述	第25-29页
· 时域分析法	第25-27页
· 基于频域的分析方法	第27-28页
· 信息学评价方法	第28页
· 基于统计学的评价方法	第28-29页
· 激光自调焦试验台的搭建	第29-34页
· 系统软件界面设计	第31-34页
· 串口通信的工作原理	第34页
· 影响系统测量精度的因素	第34页
· 总结	第34-36页
3 仪器的精度标定与重复性检测	第36-49页
· 台阶规（阶梯规）的标定	第36-41页
· 台阶规的偏差检测	第38页
· 台阶规表面重复性检测	第38页
· 实验小结	第38-41页
· 标准样板的设计与制作	第41-46页
· 样板数据的采集	第42-46页
· 位移台修正和补偿	第46-48页
· 本章总结	第48-49页
4 基于CCD的二维样板检测	第49-62页
· 硬件设备的搭建和工作原理	第49-50页
· CCD的基本原理	第49-50页
· 基于CCD图像采样的仪器系统搭建	第50-51页
· 软件控制的设计	第51页
· 图像采集与图像处理	第51-57页
· 采样窗体的确认	第52-53页
· 图像的直方图显示	第53-54页
· 图像阈值变换	第54页
· 边缘位置的提取以及边缘亚像素定位	第54-56页
· 测量原理	第56-57页
· 基于CCD微观视觉处理的软件设计	第57-61页
· 本章小结	第61-62页
5 基于二维样板采集数据的分析	第62-68页
· 实验数据的预处理	第62-65页
· 图像的坐标轴转换	第62-63页
· 边缘异常值的剔除	第63-65页
· 最小二乘拟合	第65-67页
· 本章小结	第67-68页
6 总结与展望	第68-70页
· 全文总结	第68-69页
· 工作展望	第69-70页
参考文献	第70-74页
附录A 异常值剔除的核心源代码	第74-76页
附录B 亚像素边缘提取的核心源代码	第76-78页
作者简历	第78页

本篇论文共78页，点击这进入下载页面。

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