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圆筒内表面高压脉冲辉光放电及离子注入机理研究
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圆筒内表面高压脉冲辉光放电及离子注入机理研究
论文目录
摘要
第1-5 页
Abstract
第5-9 页
第1章 绪论
第9-17 页
· 课题背景
第9 页
· 圆筒内表面改性研究现状
第9-13 页
· 内表面改性试验研究现状
第9-11 页
· 内表面改性理论研究现状
第11-13 页
· 高压脉冲辉光放电及研究现状
第13-16 页
· 高压脉冲辉光放电的产生和维持
第13-15 页
· 高压脉冲辉光放电表面改性研究现状
第15-16 页
· 本课题主要研究内容
第16-17 页
第2章 实验材料及实验方法
第17-25 页
· 实验材料及试样制备
第17 页
· 实验设备
第17-19 页
· 实验方法
第19-22 页
· 实验过程
第19-20 页
· 静电探针测试
第20 页
· 发射光谱测试
第20-21 页
· 俄歇能谱测试
第21-22 页
· 实验方案
第22-24 页
· 静电探针测试实验方案
第22-24 页
· 光谱测试实验方案
第24 页
· 本章小结
第24-25 页
第3章 探针测试与筒内放电规律研究
第25-38 页
· 引言
第25 页
· 典型探针试验曲线及分析
第25-28 页
· 典型探针曲线及分析
第25-27 页
· 不同端部形式对实验结果的影响
第27-28 页
· 各实验参数对放电现象的影响及评价
第28-36 页
· 气体种类及压强对放电现象的影响
第28-31 页
· 电源参数对放电现象的影响
第31-36 页
· 辉光放电的维持
第36-37 页
· 本章小结
第37-38 页
第4章 光谱测试与放电机理研究
第38-48 页
· 引言
第38 页
· 发射光谱测试原理
第38-40 页
· 粒子温度计算
第38-39 页
· 电子密度的测量
第39-40 页
· 光谱测试结果分析
第40-47 页
· Ar 等离子体发射光谱分析
第42-45 页
· N 等离子体发射光谱分析
第45-47 页
· 本章小结
第47-48 页
第5章 注入实验及注入深度分析
第48-53 页
· 引言
第48 页
· 注入实验方案的确定
第48-49 页
· 注入实验结果及分析
第49-52 页
· 俄歇电子能谱原理
第49 页
· 实验结果分析
第49-52 页
· 本章小结
第52-53 页
结论
第53-54 页
参考文献
第54-59 页
致谢
第59页
本篇论文共
59
页,
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