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圆筒内表面高压脉冲辉光放电及离子注入机理研究

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圆筒内表面高压脉冲辉光放电及离子注入机理研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-9 页
第1章 绪论第9-17 页
  · 课题背景第9 页
  · 圆筒内表面改性研究现状第9-13 页
    · 内表面改性试验研究现状第9-11 页
    · 内表面改性理论研究现状第11-13 页
  · 高压脉冲辉光放电及研究现状第13-16 页
    · 高压脉冲辉光放电的产生和维持第13-15 页
    · 高压脉冲辉光放电表面改性研究现状第15-16 页
  · 本课题主要研究内容第16-17 页
第2章 实验材料及实验方法第17-25 页
  · 实验材料及试样制备第17 页
  · 实验设备第17-19 页
  · 实验方法第19-22 页
    · 实验过程第19-20 页
    · 静电探针测试第20 页
    · 发射光谱测试第20-21 页
    · 俄歇能谱测试第21-22 页
  · 实验方案第22-24 页
    · 静电探针测试实验方案第22-24 页
    · 光谱测试实验方案第24 页
  · 本章小结第24-25 页
第3章 探针测试与筒内放电规律研究第25-38 页
  · 引言第25 页
  · 典型探针试验曲线及分析第25-28 页
    · 典型探针曲线及分析第25-27 页
    · 不同端部形式对实验结果的影响第27-28 页
  · 各实验参数对放电现象的影响及评价第28-36 页
    · 气体种类及压强对放电现象的影响第28-31 页
    · 电源参数对放电现象的影响第31-36 页
  · 辉光放电的维持第36-37 页
  · 本章小结第37-38 页
第4章 光谱测试与放电机理研究第38-48 页
  · 引言第38 页
  · 发射光谱测试原理第38-40 页
    · 粒子温度计算第38-39 页
    · 电子密度的测量第39-40 页
  · 光谱测试结果分析第40-47 页
    · Ar 等离子体发射光谱分析第42-45 页
    · N 等离子体发射光谱分析第45-47 页
  · 本章小结第47-48 页
第5章 注入实验及注入深度分析第48-53 页
  · 引言第48 页
  · 注入实验方案的确定第48-49 页
  · 注入实验结果及分析第49-52 页
    · 俄歇电子能谱原理第49 页
    · 实验结果分析第49-52 页
  · 本章小结第52-53 页
结论第53-54 页
参考文献第54-59 页
致谢第59页

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