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超精密加工表面粗糙度测量方法对比及功率谱密度评价
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超精密加工表面粗糙度测量方法对比及功率谱密度评价
论文目录
 
摘要第1-4 页
Abstract第4-9 页
第1章 绪论第9-18 页
　　· 课题背景及研究的目的及意义第9-10 页
　　· 表面形貌测量技术发展概况第10-13 页
　　　　· 触针式表面测量技术第11 页
　　　　· 光学式表面测量技术第11-12 页
　　　　· 扫描显微镜表面测量技术第12-13 页
　　· 表面形貌评价方法及研究现状第13-15 页
　　　　· 传统的二维与三维粗糙度表征第13 页
　　　　· Motif法第13-14 页
　　　　· 分形法第14-15 页
　　　　· 小波方法第15 页
　　· 表面功率谱密度评价方法的发展第15-17 页
　　· 本课题的主要研究内容第17-18 页
第2章 表面粗糙度的评定与功率谱密度评价方法第18-36 页
　　· 引言第18 页
　　· 表面粗糙度的评定第18-20 页
　　　　· 表面粗糙度的二维评定参数第18-19 页
　　　　· 表面粗糙度的三维评定参数第19-20 页
　　· 功率谱密度的定义及物理内涵第20-24 页
　　　　· 功率谱密度的定义第21-22 页
　　　　· 功率谱密度的物理内涵第22-24 页
　　· 一维功率谱密度估计算法研究第24-30 页
　　　　· 周期图法及估计质量第24-27 页
　　　　· 周期图法的修正算法第27-30 页
　　· 二维功率谱密度的定义与估计算法第30-35 页
　　　　· 二维功率谱密度的定义第31 页
　　　　· 二维功率谱密度的估计算法第31-33 页
　　　　· 二维与一维功率谱密度之间的计算关系第33-34 页
　　　　· 功率谱密度与一般评定参数之间的计算关系第34-35 页
　　· 本章小结第35-36 页
第3章 表面粗粗糙度测量仪器的分析与选择第36-45 页
　　· 引言第36 页
　　· Form Talysurf PGI 1240 轮廓仪第36-39 页
　　　　· 仪器简介第36-37 页
　　　　· 仪器的测量原理第37-38 页
　　　　· 仪器的误差分析第38-39 页
　　· Talysurf CCI 2000 白光干涉仪第39-41 页
　　　　· 仪器简介第39-40 页
　　　　· 仪器的测量原理第40 页
　　　　· 仪器的误差分析第40-41 页
　　· Nanoscope Dimension 3100 原子显微镜第41-43 页
　　　　· 仪器简介第41-42 页
　　　　· 仪器的测量原理第42-43 页
　　　　· 仪器的误差分析第43 页
　　· 本章小结第43-45 页
第4章 表面粗糙度的测量实验与测量结果分析第45-57 页
　　· 引言第45 页
　　· 实验方案与实验步骤第45 页
　　· 测量实验及其测量结果第45-49 页
　　　　· PGI 1240 测量参数的选取与测量结果第45-46 页
　　　　· CCI 2000 测量参数的选取与测量结果第46-48 页
　　　　· AFM测量参数的选取与测量结果第48-49 页
　　· 测量结果分析第49-51 页
　　　　· 采样间距对测量结果的影响第50 页
　　　　· 测量范围对测量结果的影响第50-51 页
　　· 测量结果的功率谱密度分析第51-55 页
　　　　· 不同采样间距下的测量结果PSD分析第51-52 页
　　　　· 不同测量范围下的测量结果PSD分析第52-53 页
　　　　· 不同仪器测量结果的对比第53-55 页
　　· 本章小结第55-57 页
第5章 基于频谱分析确定采样条件的方法及功率谱密度表征第57-71 页
　　· 引言第57 页
　　· 频谱分析确定采样条件的方法第57-63 页
　　　　· 方法概述第57-58 页
　　　　· 方法描述第58-59 页
　　　　· 应用频谱分析确定采样条件的实验第59-63 页
　　　　· 应用频谱分析确定合理采样条件的步骤第63 页
　　· 超精密加工表面的功率谱密度表征第63-69 页
　　　　· 试样的材质及其加工与测量参数第63-64 页
　　　　· 超精密加工表面的功率谱密度表征第64-67 页
　　　　· 应用一维功率谱密度实现不同加工方法的对比第67-69 页
　　· 本章小结第69-71 页
结论第71-73 页
参考文献第73-77 页
附录第77-81 页
致谢第81页

本篇论文共81页，点击这进入下载页面。
 
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