方硅芯在多晶硅还原中的应用研究

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方硅芯在多晶硅还原中的应用研究

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方硅芯在多晶硅还原中的应用研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第1章文献综述	第9-17页
1.1 研究背景和意义	第9页
1.2 多晶硅还原热载体的发展经历	第9-11页
1.2.1 钼丝或钽管	第11页
1.2.2 硅芯	第11页
1.3 硅芯制备工艺	第11-17页
1.3.1 吸管法	第11页
1.3.2 区熔法	第11-15页
1.3.3 线切方硅芯	第15-17页
第2章方硅芯制备研究	第17-33页
2.1 工艺流程	第17页
2.2 硅芯原料棒的制备	第17-18页
2.3 硅芯原料棒的加工	第18-22页
2.3.1 硅芯切割机	第18-20页
2.3.2 自动磨锥机	第20页
2.3.3 自动粘棒机	第20-21页
2.3.4 磨锥打孔机	第21-22页
2.4 方硅芯的主要技术指标	第22-28页
2.4.1 方硅芯内在质量	第22-26页
2.4.2 外观尺寸	第26-28页
2.5 搭接方式比较	第28-29页
2.6 方硅芯存在的问题和解决办法	第29-31页
2.6.1 氧化	第29-30页
2.6.2 隐裂	第30-31页
2.6.3 杂质浓度	第31页
2.7 小结	第31-33页
第3章方硅芯对多晶硅沉积速率的影响	第33-43页
3.1 沉积速率的研究意义	第33页
3.2 平均厚度沉积速率	第33-35页
3.3 平均重量沉积速率	第35-36页
3.4 提升还原工艺	第36-37页
3.5 沉积速率与还原炉电耗的关系	第37-42页
3.5.1 厚度沉积速率与还原炉电耗的关系	第37-40页
3.5.2 重量沉积速率与还原炉电耗的关系	第40-41页
3.5.3 重量沉积速率、厚度沉积速率与还原炉电单耗的关系	第41-42页
3.6 小结	第42-43页
第4章方硅芯与多晶硅还原能耗的影响分析	第43-55页
4.1 多晶硅能耗影响因素	第43-44页
4.2 方硅芯提高多晶硅生产效率	第44-47页
4.2.1 缩短还原炉生长周期	第44-46页
4.2.2 提高生产还原炉的利用率	第46-47页
4.3 方硅芯降低倒炉率	第47-50页
4.4 方硅芯减少配件损耗	第50页
4.5 提高硅芯生产效率	第50-52页
4.6 制造成本比较	第52-54页
4.7 更加容易商品化	第54页
4.8 小结	第54-55页
第5章结论及展望	第55-57页
5.1 结论	第55-56页
5.2 展望	第56-57页
参考文献	第57-59页
发表论文和参加科研情况说明	第59-61页
致谢	第61-62页

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