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多晶硅生产中二氯二氢硅反歧化操作优化研究
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多晶硅生产中二氯二氢硅反歧化操作优化研究
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第1章 文献综述第8-24页
　　1.1 二氯二氢硅的性质第9-10页
　　　　1.1.1 二氯二氢硅的理化性质第9页
　　　　1.1.2 二氯二氢硅的危险性研究第9-10页
　　　　1.1.3 二氯二氢硅的市场及发展第10页
　　1.2 多晶硅主要生产工艺介绍第10-14页
　　　　1.2.1 改良西门子法工艺第10-12页
　　　　1.2.2 硅烷法工艺第12-13页
　　　　1.2.3 冶金法工艺第13-14页
　　1.3 二氯二氢硅产生的途径第14-16页
　　　　1.3.1 三氯氢硅合成系统中产生二氯二氢硅第14页
　　　　1.3.2 多晶硅还原系统产生二氯二氢硅第14-15页
　　　　1.3.3 四氯化硅氢化系统产生二氯二氢硅第15-16页
　　1.4 二氯二氢硅的处理和利用第16-19页
　　　　1.4.1 二氯二氢硅的水解处理第16页
　　　　1.4.2 二氯二氢硅在多晶硅还原系统中的应用第16-18页
　　　　1.4.3 二氯二氢硅在四氯化硅氢化系统中的应用第18-19页
　　1.5 二氯二氢硅反歧化介绍第19-21页
　　　　1.5.1 反歧化工艺第19页
　　　　1.5.2 二氯二氢硅反歧化催化剂第19-21页
　　1.6 二氯二氢硅反歧化研究课题的意义和内容第21-24页
　　　　1.6.1 二氯二氢硅反歧化研究课题的意义第21-22页
　　　　1.6.2 二氯二氢硅反歧化研究的内容第22-24页
第2章 二氯二氢硅反歧化实验分析方法第24-30页
　　2.1 二氯二氢硅反歧化实验分析主要仪器和试剂第24-27页
　　　　2.1.1 气相色谱法第24-26页
　　　　2.1.2 等离子体质谱法第26-27页
　　2.2 二氯二氢硅反歧化实验分析方法第27-30页
　　　　2.2.1 液体氯硅烷中组分含量的分析方法第27-28页
　　　　2.2.2 液体氯硅烷中杂质元素分析方法第28-30页
第3章 二氯二氢硅反歧化实验内容与结果分析第30-48页
　　3.1 二氯二氢硅反歧化实验内容第30-34页
　　　　3.1.1 二氯二氢硅反歧化树脂的选择第30-31页
　　　　3.1.2 二氯二氢硅反歧化生产线调试及反应第31-34页
　　3.2 实验结果和分析第34-46页
　　　　3.2.1 反应温度对反歧化影响的结果和分析第34-35页
　　　　3.2.2 反应压力对反歧化影响的结果和分析第35-36页
　　　　3.2.3 摩尔配比对反歧化影响的结果和分析第36-38页
　　　　3.2.4 进料量对反歧化影响的结果和分析第38-39页
　　　　3.2.5 杂质对反歧化影响的结果和分析第39-43页
　　　　3.2.6 其他因素对反歧化影响的结果和分析第43-46页
　　3.3 小结第46-48页
第4章 结论与展望第48-50页
　　4.1 论文结论第48-49页
　　4.2 论文展望第49-50页
文献引用第50-54页
发表论文和参加科研情况说明第54-56页
致谢第56-57页

本篇论文共57页，点击这进入下载页面。
 
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