耐高压、高储能密度钛酸钡薄膜电容器的中温制备

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耐高压、高储能密度钛酸钡薄膜电容器的中温制备

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耐高压、高储能密度钛酸钡薄膜电容器的中温制备

论文目录
摘要	第10-12页
ABSTRACT	第12-15页
第一章绪论	第15-29页
· 高储能密度电容器的研究背景	第15-16页
· 电容器分类	第15页
· 高储能密度电容器的应用及发展趋势	第15-16页
· 电介质材料的储能密度	第16-18页
· 储能密度理论计算	第16-17页
· 电介质材料储能密度研究现状	第17-18页
· 钛酸钡的结构及电学性能	第18-22页
· 晶体结构	第18-19页
· 介电常数及介电损耗	第19-20页
· 漏电流	第20页
· 铁电性	第20-21页
· 压电性	第21-22页
· 钛酸钡薄膜的常用制备方法	第22-23页
· 化学法	第22页
· 物理气相沉积法	第22-23页
· 钛酸钡薄膜中温制备研究现状	第23-24页
· 本论文主要研究内容	第24-29页
· 薄膜制备方法	第24-25页
· 材料选择与设计的理论依据	第25-27页
· 研究目的及意义	第27-28页
· 主要研究内容	第28-29页
第二章钛酸钡薄膜的制备和性能表征	第29-37页
· 钛酸钡薄膜的制备	第29-32页
· 技术路线	第29页
· 实验原材料及仪器	第29-30页
· 磁控溅射工艺参数	第30页
· 实验步骤	第30-31页
· 钛酸钡薄膜电容器结构	第31-32页
· 钛酸钡薄膜的性能表征	第32-36页
· 薄膜形貌、结构和成分的表征	第32-34页
· 薄膜电学性能表征	第34-36页
· 本章小结	第36-37页
第三章耐高压钛酸钡薄膜的工艺优化	第37-51页
· BaTiO_3/Pt/Ti/Si耐高压工艺优化	第37-43页
· 溅射气氛	第37-38页
· 基片温度	第38-39页
· 溅射气压	第39-41页
· 溅射功率	第41-42页
· 降温气氛	第42-43页
· BaTiO_3/LaNiO_3/Pt/Ti/Si耐高压工艺优化	第43-48页
· LaNiO_3缓冲层厚度	第44-45页
· 溅射功率	第45-46页
· 溅射气压	第46-48页
· 耐高压钛酸钡薄膜的铁电性	第48-49页
· 本章小结	第49-51页
第四章钛酸钡薄膜储能密度的研究	第51-67页
· 提高钛酸钡薄膜储能密度的途径	第51-59页
· 提高击穿场强E_b	第51-58页
· 降低剩余极化强度P_r	第58-59页
· 耐高压钛酸钡薄膜的稳定性研究	第59-62页
· 介电性能随频率变化的稳定性	第59-60页
· 铁电性随时间变化的稳定性	第60-61页
· 温度稳定性	第61-62页
· 理论储能密度及有效介电常数	第62-63页
· 实际放电能量密度	第63-65页
· 本章小结	第65-67页
第五章结论及展望	第67-70页
· 结论	第67-68页
· 创新点	第68页
· 展望	第68-70页
参考文献	第70-82页
致谢	第82-84页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第84-85页
学位论文评阅及答辩情况表	第85 页

本篇论文共85页，点击这进入下载页面。

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