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三维超精密运动平台性能分析及误差补偿的研究
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三维超精密运动平台性能分析及误差补偿的研究
论文目录
 
摘要第1-3 页
Abstract第3-6 页
第1章 绪论第6-18 页
　　· 课题背景第6-7 页
　　· 国内外研究现状第7-16 页
　　　　· 三维微细加工技术第7-9 页
　　　　· 超精密运动平台的概念与意义第9-12 页
　　　　· 超精密运动平台的发展与现状第12-16 页
　　· 研究目标与内容第16-17 页
　　· 本章小结第17-18 页
第2章 三维超精密运动平台方案设计与结构设计第18-34 页
　　· 极微细电火花加工对运动平台的要求第18-19 页
　　· 运动平台系统方案设计第19-28 页
　　　　· 极微细电火花加工系统的总体结构第19-21 页
　　　　· 超精密运动平台的方案设计第21-23 页
　　　　· 运动平台驱动方式第23-25 页
　　　　· 运动平台位移检测反馈方式第25-26 页
　　　　· 运动平台控制方式第26-28 页
　　· 运动平台系统机架结构设计第28-30 页
　　· 运动平台系统隔振系统设计第30-33 页
　　· 本章小结第33-34 页
第3章 三维超精密运动平台性能分析与实验研究第34-50 页
　　· 三维超精密运动平台运动学性能分析第34-35 页
　　· 三维超精密运动平台位置精度分析第35-36 页
　　· 超精密运动平台机架刚度分析第36-38 页
　　· 机架及隔振台模态分析第38-43 页
　　　　· 有限元软件模拟分析第38-40 页
　　　　· 试验模态分析第40-41 页
　　　　· 试验法与有限元法模态分析结果比较第41-43 页
　　· 超精密运动平台隔振系统性能分析第43-48 页
　　· 实验总结第48-49 页
　　· 本章小结第49-50 页
第4章 三维超精密运动平台误差分析与识别第50-65 页
　　· 三维超精密运动平台误差模型第50-61 页
　　　　· 误差模型建立方法第50-51 页
　　　　· 三维超精密运动平台误差模型的特点和模型建立方法第51 页
　　　　· 误差矩阵法建立误差模型第51-61 页
　　· 三维超精密运动平台误差辨识第61-63 页
　　　　· 三维超精密运动平台误差辨识方法第61 页
　　　　· 三维超精密运动平台误差辨识方案设计第61-63 页
　　· 本章小结第63-65 页
第5章 三维超精密运动平台误差补偿方案研究第65-70 页
　　· 三维超精密运动平台主要误差因素分析第65-66 页
　　· 三维超精密运动平台误差补偿方案设计第66-69 页
　　　　· 误差补偿方法第66-67 页
　　　　· 超精密运动平台误差初步补偿方案第67-69 页
　　　　· 三维超精密运动平台误差综合动态实时补偿方案第69 页
　　· 本章小结第69-70 页
第6章 论文工作总结与展望第70-72 页
　　· 论文主要工作和结论第70 页
　　· 展望第70-72 页
参考文献第72-76 页
致谢第76-77 页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第77页

本篇论文共77页，点击这进入下载页面。
 
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