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应用于高精度主轴回转误差监测的柱状电容传感器研究

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应用于高精度主轴回转误差监测的柱状电容传感器研究
论文目录
 
致谢第1-6页
摘要第6-7页
Abstract第7-9页
目次第9-12页
第1章 绪论第12-23页
  · 论文研究的背景及意义第12-13页
  · 高精度主轴回转误差测量简介第13-14页
  · 国内外的相关研究现状第14-20页
    · 国外研究情况第14-17页
    · 国内研究情况第17-20页
  · 论文的主要研究内容第20-22页
  · 本章小结第22-23页
第2章 电容传感器边缘效应研究第23-33页
  · 引言第23页
  · 边缘效应产生原理第23-24页
  · 边缘效应引起的附加电容计算第24-26页
  · 边缘效应的消减措施第26-31页
    · 等电位环保护法第26-28页
    · 控制极板厚度第28-30页
    · 基于PCB工艺方法第30-31页
  · 边缘效应消减方法对比分析第31-32页
  · 本章小结第32-33页
第3章 柱状电容传感器的多维位移测量原理分析和仿真研究第33-57页
  · 引言第33页
  · 柱状电容传感器简介第33-34页
  · 柱状电容传感器的多维位移测量原理分析第34-38页
    · 柱状电容传感器电容计算第34-35页
    · 柱状电容传感器用于主轴跳动误差测量第35-37页
    · 柱状电容传感器用于主轴偏转误差测量第37-38页
  · 柱状电容传感器参数仿真研究第38-44页
    · 径向距离对电容的影响第39-40页
    · 极板厚度对电容的影响第40-41页
    · 极板轴向长度对电容的影响第41-42页
    · 极板圆周张角对电容的影响第42页
    · 极板数目对电容的影响第42-44页
  · 应用柱状电容传感器的主轴误差测量仿真研究第44-56页
    · 柱状电容传感器用于跳动误差测量仿真第44-54页
    · 柱状电容传感器用于主轴偏转误差测量的仿真第54-56页
  · 本章小结第56-57页
第4章 基于柱状电容传感器的主轴回转误差测量模拟实验平台设计第57-69页
  · 引言第57页
  · 基于柱状电容传感器的主轴回转误差测量模拟实验平台结构设计第57-59页
    · 柱状电容传感器的电极结构设计第58页
    · 辅助装置设计第58-59页
  · 电容检测电路设计第59-68页
    · 检出电路第60-63页
    · 交流放大电路第63-64页
    · 相敏检波电路第64-66页
    · 低通滤波电路第66-67页
    · 电路抗干扰设计第67-68页
  · 本章小结第68-69页
第5章 柱状电容传感器的实验研究第69-80页
  · 柱状电容传感器实验平台的构建第69-72页
    · 传感器检测电路的制作第69-70页
    · 柱状电容传感器的装配第70-71页
    · 实验平台的构建第71-72页
    · 数据采集和处理程序第72页
  · 柱状电容传感器的实验研究第72-79页
    · 检测电路的稳定性实验第72-75页
    · 主轴径向跳动误差的测量实验第75-79页
  · 实验结果第79页
  · 本章小结第79-80页
第6章 结论和展望第80-83页
  · 结论第80-81页
  · 展望第81-83页
参考文献第83-88页
作者简历第88-89页

本篇论文共89页,点击这进入下载页面
 
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