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温度补偿型高灵敏度微压力传感器

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温度补偿型高灵敏度微压力传感器
论文目录
 
摘要第1-6页
abstract第6-10页
第一章 绪论第10-19页
  1.1 课题研究的背景及意义第10-11页
  1.2 光子晶体的基本理论研究方法第11-14页
    1.2.1 平面波展开法第12页
    1.2.2 时域有限差分法第12-13页
    1.2.3 有限元法第13页
    1.2.4 多重散射法第13-14页
  1.3 光子晶体传感器国内外研究现状第14-15页
  1.4 光子晶体制备工艺第15-17页
    1.4.1 机械制备法第16页
    1.4.2 交替沉膜法第16页
    1.4.3 半导体制造法第16-17页
    1.4.4 光学方法第17页
  1.5 论文结构安排第17-19页
第二章 缺陷对二维光子晶体光学特性的影响第19-29页
  2.1 完美二维光子晶体的结构介绍第19-20页
  2.2 晶格常数和介质柱半径对带隙的影响第20-24页
  2.3 光子晶体缺陷模式分析第24-28页
    2.3.1 光子晶体缺陷种类介绍第24-28页
  2.4 本章小结第28-29页
第三章 光子晶体微压力传感器的结构设计与分析第29-39页
  3.1 目前出现的光子晶体传感器的主要结构第29页
  3.2 光子晶体传感器的研究现状与意义第29-30页
  3.3 光子晶体微压力传感器的理论研究方法第30-32页
  3.4 光子晶体微压力传感器的结构设计第32-35页
  3.5 光子晶体微压力传感器的优化设计第35-38页
  3.6 本章小结第38-39页
第四章 温度补偿型微压力传感器结构设计与分析第39-68页
  4.1 温度补偿型微压力传感器的原理第39-40页
  4.2 直角型分支波导结构的温度补偿型微压力传感器设计与分析第40-47页
    4.2.1 直角型分支波导结构的温度补偿型微压力传感器设计第40-42页
    4.2.2 直角型分支波导结构的温度补偿型微压力传感器性能分析第42-47页
  4.3 斜线型分支波导结构的温度补偿型微压力传感器设计与分析第47-53页
    4.3.1 波导A及腔A的设计与分析第47-49页
    4.3.2 波导B及腔B的设计与分析第49-52页
    4.3.3 双通道结构的设计与分析第52-53页
  4.4 耦合分支波导结构的带阻滤波微压力传感器设计与分析第53-61页
    4.4.1 耦合分支波导结构的带阻滤波微压力传感器设计第54-57页
    4.4.2 耦合分支波导结构的带阻滤波微压力传感器性能分析第57-61页
  4.5 分支波导结构的带通滤波微压力传感器设计与分析第61-67页
    4.5.1 分支波导结构的带通滤波微压力传感器设计第61-62页
    4.5.2 分支波导结构的带通滤波微压力传感器性能分析第62-67页
  4.6 本章小结第67-68页
第五章 总结与展望第68-70页
  5.1 全文小结第68-69页
  5.2 展望第69-70页
参考文献第70-73页
附录1 程序清单第73-74页
附录2 攻读硕士学位期间撰写的论文第74-75页
附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目第75-76页
致谢第76-77页

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