硅基微结构气敏传感器的微热板设计及Si-NPA的有机蒸汽气敏性研究

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硅基微结构气敏传感器的微热板设计及Si-NPA的有机蒸汽气敏性研究

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硅基微结构气敏传感器的微热板设计及Si-NPA的有机蒸汽气敏性研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
专用术语注释表	第8-9页
第一章绪论	第9-20页
1.1 研究背景	第9-14页
1.1.1 薄膜电导型传感器	第10-11页
1.1.2 场效应管	第11-12页
1.1.3 肖特基势垒	第12-13页
1.1.4 多孔硅传感器	第13-14页
1.2 微热板的研究概述	第14-15页
1.2.1 微热板的分类	第15页
1.3 微结构气体传感器的国内外发展状况	第15-18页
1.4 论文研究的主要内容	第18-20页
第二章微热板及有限元软件介绍	第20-27页
2.1 微热板的工作流程	第20-21页
2.2 微热板理论模型	第21-22页
2.3 有限元软件	第22-25页
2.3.1 ANSYS热分析理论	第23-24页
2.3.2 ANSYS稳态热分析GUI分析过程	第24-25页
2.3.3 ANSYS的热应力GUI分析过程	第25页
2.4 本章小结	第25-27页
第三章微热板的设计与仿真	第27-43页
3.1 微热板的隔热材料	第27-29页
3.1.1 硅氧化物	第28页
3.1.2 聚合物	第28页
3.1.3 气凝胶	第28-29页
3.2 多孔硅作为隔热材料	第29-30页
3.3 微热板的结构设计	第30-32页
3.3.1 衬底材料设计	第30-31页
3.3.2 绝热层的设计	第31页
3.3.3 电极的设计	第31-32页
3.4 微热板的模拟仿真	第32-42页
3.4.1 衬底间距的影响	第33-34页
3.4.2 绝热层的仿真	第34-36页
3.4.3 电极的仿真	第36-40页
3.4.4 微热板的热应力分析	第40-42页
3.5 本章小结	第42-43页
第四章硅纳米孔柱阵列的制备及其有机蒸汽气敏特性研究	第43-50页
4.1 Si-NPA的制备技术简要介绍及特征形貌分析	第43-44页
4.2 有机蒸汽传感器工作原理	第44-45页
4.3 基于Si-NPA的有机蒸汽气敏传感特性研究	第45-48页
4.3.1 Si-NPA传感器在乙醇和丙酮气体的电学性能	第45-46页
4.3.2 Si-NPA传感器的传感器响应与气体浓度关系	第46-48页
4.4 Si-NPA传感器的传感器响应恢复时间	第48-49页
4.5 本章小结	第49-50页
第五章总结与展望	第50-53页
5.1 总结	第50-51页
5.2 工作展望	第51-53页
参考文献	第53-57页
附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文	第57-58页
附录2 攻读硕士学位期间申请的专利	第58-59页
附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目	第59-60页
致谢	第60页

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