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压电陶瓷管扫描器非线性校正

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压电陶瓷管扫描器非线性校正
论文目录
 
第一章 引言第1-19 页
  · 扫描探针显微镜第6-9 页
  · 压电陶瓷管扫描器工作特性第9-12 页
  · 压电陶瓷非线性校正国内外的研究现状第12-17 页
  · 本课题的研究意义及主要任务第17-19 页
第二章 课题设计基本原理第19-26 页
  · 激光干涉法精密位移测量原理第19-24 页
    · 干涉的基本概念与原理第19-23 页
      · 干涉条件第19 页
      · 相干光的获得第19-20 页
      · 等倾干涉与等厚干涉第20-23 页
    · 激光干涉测长仪工作原理第23-24 页
      · 迈克尔逊干涉仪第23-24 页
      · 测长原理第24 页
  · 扫描软件修正原理第24-26 页
第三章 实验装置设计与实验测量方法第26-40 页
  · 非线性曲线测量装置的设计第26-29 页
  · 非线性曲线的测定第29-34 页
    · 系统防振措施第29 页
    · 光路调试第29-31 页
    · 数据测定第31-34 页
  · 软件设计第34-40 页
    · 驱动电压软件设计第34-37 页
      · PC7464简介第34-35 页
      · 控制箱第35-37 页
      · 驱动电压控制软件第37 页
    · 扫描校正软件设计第37-40 页
      · Nspm-6800扫描控制软件第37-38 页
      · 扫描校正软件第38-40 页
第四章 实验结果与分析第40-61 页
  · 扫描管参数第40 页
  · 非线性曲线第40-48 页
  · 拟合曲线第48-58 页
  · 驱动电压波形第58-59 页
  · 扫描校正实验第59 页
  · 实验结果分析第59-61 页
第五章 课题总结第61-63 页
参考文献第63-65 页
课题研究成果第65-66 页
致谢第66-67 页
论文答辩说明第67 页
关于论文使用授权的说明第67页

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