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压电陶瓷管扫描器非线性校正
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压电陶瓷管扫描器非线性校正
论文目录
第一章 引言
第1-19 页
· 扫描探针显微镜
第6-9 页
· 压电陶瓷管扫描器工作特性
第9-12 页
· 压电陶瓷非线性校正国内外的研究现状
第12-17 页
· 本课题的研究意义及主要任务
第17-19 页
第二章 课题设计基本原理
第19-26 页
· 激光干涉法精密位移测量原理
第19-24 页
· 干涉的基本概念与原理
第19-23 页
· 干涉条件
第19 页
· 相干光的获得
第19-20 页
· 等倾干涉与等厚干涉
第20-23 页
· 激光干涉测长仪工作原理
第23-24 页
· 迈克尔逊干涉仪
第23-24 页
· 测长原理
第24 页
· 扫描软件修正原理
第24-26 页
第三章 实验装置设计与实验测量方法
第26-40 页
· 非线性曲线测量装置的设计
第26-29 页
· 非线性曲线的测定
第29-34 页
· 系统防振措施
第29 页
· 光路调试
第29-31 页
· 数据测定
第31-34 页
· 软件设计
第34-40 页
· 驱动电压软件设计
第34-37 页
· PC7464简介
第34-35 页
· 控制箱
第35-37 页
· 驱动电压控制软件
第37 页
· 扫描校正软件设计
第37-40 页
· Nspm-6800扫描控制软件
第37-38 页
· 扫描校正软件
第38-40 页
第四章 实验结果与分析
第40-61 页
· 扫描管参数
第40 页
· 非线性曲线
第40-48 页
· 拟合曲线
第48-58 页
· 驱动电压波形
第58-59 页
· 扫描校正实验
第59 页
· 实验结果分析
第59-61 页
第五章 课题总结
第61-63 页
参考文献
第63-65 页
课题研究成果
第65-66 页
致谢
第66-67 页
论文答辩说明
第67 页
关于论文使用授权的说明
第67页
本篇论文共
67
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