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CuO薄膜和Cu/TiO_x复合薄膜的制备与表征

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CuO薄膜和Cu/TiO_x复合薄膜的制备与表征
论文目录
 
摘要第1-6 页
Abstract第6-11 页
第一章 绪论第11-29 页
  · 引言第11 页
  · 纳米材料概述第11-14 页
    · 纳米材料分类第12 页
    · 纳米材料的应用第12-14 页
  · 纳米薄膜材料制备技术第14-20 页
    · 化学气相沉积法第14-16 页
    · 电化学沉积法第16 页
    · 化学镀法第16-17 页
    · 溶胶-凝胶法第17-18 页
    · 射频磁控溅射法第18-20 页
  · 本课题的研究内容第20-21 页
  参考文献第21-29 页
第二章 实验部分第29-39 页
  · CuO 薄膜样品的制备第29-31 页
    · 实验试剂、仪器及装置第29-30 页
    · 实验流程第30 页
    · 溶胶的制备第30-31 页
    · CuO 薄膜的制备第31 页
  · Cu/TiO_x 复合薄膜样品的制备第31-32 页
    · 靶材第31-32 页
    · 射频磁控溅射制备 Cu/TiO_x 复合薄膜薄膜第32 页
  · 样品的表征第32-38 页
    · X-射线衍射仪(XRD)第32-33 页
    · X-射线光电子能谱(XPS)第33-34 页
    · 原子力显微镜(AFM)第34-35 页
    · 扫描电镜(SEM) 和能谱仪(EDS)第35-36 页
    · 光学性能第36 页
    · 亲水性能第36-38 页
  参考文献第38-39 页
第三章 溶胶凝胶法制备氧化铜纳米薄膜的结构与性能研究第39-50 页
  · 溶胶-凝胶法制备CuO 薄膜第39-40 页
  · 溶胶-凝胶的制备第40-41 页
    · pH值对溶胶液的影响第40-41 页
    · 聚乙烯醇的量对于溶胶液的影响第41 页
  · CuO 薄膜的表征与结果分析第41-47 页
    · 不同涂覆次数对薄膜的影响第41-43 页
    · 不同热处理温度对薄膜的影响第43-45 页
    · 不同衬底对薄膜的影响第45-47 页
  · CuO 薄膜的光学性质第47-48 页
  · 本章小结第48-49 页
  参考文献第49-50 页
第四章 射频溅射制备 Cu/TiO_x 复合薄膜的性能研究第50-74 页
  · Cu/TiO_x 复合薄膜的制备第50 页
  · Cu/TiO_x 复合薄膜的晶体结构第50-55 页
    · 溅射气压对复合薄膜晶体结构的影响第51-53 页
    · 溅射时间对复合薄膜晶体结构的影响第53-54 页
    · Cu 的溅射功率对复合薄膜晶体结构的影响第54 页
    · 溅射气氛对复合薄膜晶体结构的影响第54-55 页
  · Cu/TiO_x 复合薄膜元素分析第55-57 页
  · 薄膜的 XPS 分析第57-59 页
  · Cu/TiO_x 复合薄膜的表面形貌第59-66 页
    · 溅射气压对复合薄膜表面形貌的影响第59-60 页
    · 溅射时间对复合薄膜表面形貌的影响第60-62 页
    · Cu 溅射功率对复合薄膜表面形貌的影响第62-63 页
    · 溅射气氛对复合薄膜表面形貌的影响第63-65 页
    · 热处理对复合薄膜表面形貌的影响第65-66 页
  · Cu/TiO_x 复合薄膜的光学性质第66-68 页
    · 溅射时间对复合薄膜光学性质的影响第66-67 页
    · Cu 溅射功率对复合薄膜光学性质的影响第67-68 页
  · Cu/TiO_x 复合薄膜的亲水性能研究第68-71 页
    · 溅射时间对复合薄膜亲水性能的影响第68-70 页
    · Cu 溅射功率对复合薄膜亲水性的影响第70-71 页
  · 本章小结第71-72 页
  参考文献第72-74 页
第五章 结论第74-75 页
致谢第75-76 页
硕士期间发表的学位论文第76 页

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