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分布电容式介质移相器的研制
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分布电容式介质移相器的研制
论文目录
 
第一章 引言第1-22 页
　　· 相控阵天线的相位扫描法的基本原理第10-13 页
　　· 移相器分类及其工作原理第13-20 页
　　　　· 传统移相器第14-15 页
　　　　　　· 铁氧体移相器第14-15 页
　　　　　　· 半导体二极管移相器第15 页
　　　　· 新型移相器第15-20 页
　　　　　　· MMIC GaAs 移相器第15-16 页
　　　　　　· 反射式移相器第16-17 页
　　　　　　· MEMS 移相器第17-18 页
　　　　　　· 铁电介质移相器第18-20 页
　　· 移相器的研究现状第20-21 页
　　· 本课题的主要内容第21-22 页
第二章 分布电容式介质移相器的设计第22-33 页
　　· 介质移相器基本结构及工作原理第22-23 页
　　· 分布电容式介质移相器设计方案第23-24 页
　　· 分布式电容负载结构介质移相器电路设计第24-33 页
　　　　· 基本原理分析第24-28 页
　　　　· 移相器各部分电路结构尺寸设计第28-33 页
　　　　　　· 共面波导尺寸设计第28-29 页
　　　　　　· 微带线尺寸综合第29-30 页
　　　　　　· 端口电路的设计第30-32 页
　　　　　　· 负载电容相关参数的确定第32-33 页
第三章 介质移相器的改进与仿真优化第33-45 页
　　· 介质移相器电路结构的改进第33-34 页
　　· 仿真软件的选择和仿真基本原理第34-37 页
　　· 介质移相器相关参数的仿真优化第37-41 页
　　　　· 中心导带结构参数的确定第37-39 页
　　　　· 影响器件损耗的部分因素第39-41 页
　　　　　　· 基片材料损耗第39-40 页
　　　　　　· 介质损耗第40 页
　　　　　　· 导体材料损耗第40-41 页
　　· 移相器设计结果第41-45 页
第四章 移相器的加工与完善第45-60 页
　　· 移相器的工艺流程第45 页
　　· 工艺条件的选择第45-56 页
　　　　· 基片的选择第46 页
　　　　· 基片的清洗第46-47 页
　　　　· BST 铁电薄膜的制备第47-50 页
　　　　· 光刻胶的选择第50 页
　　　　· 电极的加工第50-56 页
　　　　　　· 电极的选择第50-51 页
　　　　　　· Pt 电极加工工艺第51-56 页
　　· 器件的性能测试与结果分析第56-59 页
　　　　· 测试夹具的制作第56-57 页
　　　　· 测试结果分析第57-59 页
　　· 目前存在的问题与今后改进措施第59-60 页
结论第60-61 页
参考文献第61-65 页
致谢第65 页

本篇论文共65页，点击这进入下载页面。
 
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