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低阻高TCR非晶硅薄膜制备及性能研究

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低阻高TCR非晶硅薄膜制备及性能研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-24页
  · 非晶硅薄膜及其器件应用第10-16页
    · 非晶硅薄膜概况第10-11页
    · 常用制备方法介绍第11-14页
    · 非晶硅薄膜的应用第14-16页
  · 非晶硅薄膜的掺杂和气体稀释第16-20页
    · 非晶硅薄膜的掺杂第16-18页
    · 非晶硅薄膜的气体稀释第18-20页
  · 非晶硅薄膜的后处理第20-22页
    · 常规高温退火第20-21页
    · 金属诱导退火第21-22页
    · 粒子束辐照改性第22页
  · 选题意义、研究内容及技术路线第22-24页
    · 选题意义第22-23页
    · 研究内容第23页
    · 技术路线第23-24页
第二章 非晶硅薄膜制备及性能表征第24-34页
  · 非晶硅薄膜的生长机制第24-26页
  · 薄膜制备及后处理第26-29页
    · PECVD 工艺简介第26-27页
    · 薄膜制备第27-28页
    · 后处理第28-29页
  · 非晶硅薄膜结构分析方法第29-31页
    · X 射线衍射(XRD)分析第29-30页
    · 激光拉曼(Raman)光谱分析第30页
    · 傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析第30-31页
  · 非晶硅薄膜光电性能测试方法第31-34页
    · 电学测试第31-32页
    · 光学分析第32-34页
第三章 氢气对非晶硅薄膜性能的影响第34-55页
  · 引言第34页
  · 氢气对薄膜结构的影响第34-43页
    · XRD 分析第34-36页
    · Raman 分析第36-40页
    · FTIR 分析第40-43页
  · 氢气对薄膜光学性能的影响第43-50页
    · 折射率与消光系数研究第45-47页
    · 光学带隙研究第47-49页
    · 紫外-可见光光谱分析第49-50页
  · 氢气对薄膜电学性能的影响第50-54页
    · 室温暗电阻率第51-53页
    · 电阻温度系数(TCR)研究第53-54页
  · 本章小结第54-55页
第四章 真空退火对非晶硅薄膜性能的影响第55-63页
  · 引言第55页
  · 薄膜微结构第55-56页
  · 薄膜厚度和折射率第56-58页
  · 薄膜电学性能第58-61页
  · 本章小结第61-63页
第五章 非晶硅器件化应用工艺研究第63-67页
  · 引言第63页
  · 专用圆形电极设计第63-64页
  · 膜厚均匀性研究第64-65页
  · 电学性能研究第65-66页
  · 本章小结第66-67页
第六章 结论和展望第67-69页
  · 工作总结第67-68页
  · 展望第68-69页
致谢第69-70页
参考文献第70-76页
攻读硕士学位期间研究成果第76-77 页

本篇论文共77页,点击这进入下载页面
 
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