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低阻高TCR非晶硅薄膜制备及性能研究
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低阻高TCR非晶硅薄膜制备及性能研究
论文目录
摘要
第1-6页
ABSTRACT
第6-10页
第一章 绪论
第10-24页
· 非晶硅薄膜及其器件应用
第10-16页
· 非晶硅薄膜概况
第10-11页
· 常用制备方法介绍
第11-14页
· 非晶硅薄膜的应用
第14-16页
· 非晶硅薄膜的掺杂和气体稀释
第16-20页
· 非晶硅薄膜的掺杂
第16-18页
· 非晶硅薄膜的气体稀释
第18-20页
· 非晶硅薄膜的后处理
第20-22页
· 常规高温退火
第20-21页
· 金属诱导退火
第21-22页
· 粒子束辐照改性
第22页
· 选题意义、研究内容及技术路线
第22-24页
· 选题意义
第22-23页
· 研究内容
第23页
· 技术路线
第23-24页
第二章 非晶硅薄膜制备及性能表征
第24-34页
· 非晶硅薄膜的生长机制
第24-26页
· 薄膜制备及后处理
第26-29页
· PECVD 工艺简介
第26-27页
· 薄膜制备
第27-28页
· 后处理
第28-29页
· 非晶硅薄膜结构分析方法
第29-31页
· X 射线衍射(XRD)分析
第29-30页
· 激光拉曼(Raman)光谱分析
第30页
· 傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析
第30-31页
· 非晶硅薄膜光电性能测试方法
第31-34页
· 电学测试
第31-32页
· 光学分析
第32-34页
第三章 氢气对非晶硅薄膜性能的影响
第34-55页
· 引言
第34页
· 氢气对薄膜结构的影响
第34-43页
· XRD 分析
第34-36页
· Raman 分析
第36-40页
· FTIR 分析
第40-43页
· 氢气对薄膜光学性能的影响
第43-50页
· 折射率与消光系数研究
第45-47页
· 光学带隙研究
第47-49页
· 紫外-可见光光谱分析
第49-50页
· 氢气对薄膜电学性能的影响
第50-54页
· 室温暗电阻率
第51-53页
· 电阻温度系数(TCR)研究
第53-54页
· 本章小结
第54-55页
第四章 真空退火对非晶硅薄膜性能的影响
第55-63页
· 引言
第55页
· 薄膜微结构
第55-56页
· 薄膜厚度和折射率
第56-58页
· 薄膜电学性能
第58-61页
· 本章小结
第61-63页
第五章 非晶硅器件化应用工艺研究
第63-67页
· 引言
第63页
· 专用圆形电极设计
第63-64页
· 膜厚均匀性研究
第64-65页
· 电学性能研究
第65-66页
· 本章小结
第66-67页
第六章 结论和展望
第67-69页
· 工作总结
第67-68页
· 展望
第68-69页
致谢
第69-70页
参考文献
第70-76页
攻读硕士学位期间研究成果
第76-77 页
本篇论文共
77
页,
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